激光平面干涉仪的研究.ppt

11-3、激光平面干涉仪 平面干涉仪测量原理 平面干涉仪基于双光束等厚千涉 原理进行精密观测。如图所示,图 的克 准直后射向玻璃片M,再从玻璃片 反射垂直投射到楔形平板G上(为 确定起见,设垂直于上表面)  入射光束在楔形平板上表而的反射光由原路回头 透过玻璃片M后射向观察显微镜L2;在楔形平板下 表面的反射光透过平板上表面和玻璃片反射向 12。按照确定定域面的作图法,可知定域面在楔形平 板内部的BB位置。如果平板不是太厚,且平板两表 面的楔角不是太大时,定域面非常接近平板下表面, 这样如调节显徼镜L2对准平板的下表面,就可在显微 镜像平面E上观察到楔形平板产生的等厚条纹  二、PG15-14型激光平面干涉仪 PG15-4型激光平面干涉仪由上海光机所生 产,是一种使用方便的光学精密计量仪器,主要 用于精密测量光学平面度。仪器配有激光光源 (波长为6328nm)。对于干涉条纹可目视测量 读数。工作时对防震要求一般。该仪器可应用于 光学车间、实验室、计量室。如需配购相关的必 要附件,可精密测量光学平板的微小楔角、光学 材料折射率n的均匀性,光学镀膜面或金属块规 表面的平面度,900棱镜的直角误差及角锥棱镜 单角和综合误差。  1主要数据、 1第一标准平面(A面),不镀膜 工作直径:D1=中146mm 不平度小于0.02um(/30) 、第二标准平面(B面),不镀 工作直径:D2=中140mm 不平度小于0.03um(M20) 3、准直系统:孔径F/2.8 工作直径:D0=146mm 图第标准平面(面)精度照片 焦距:f=400mm。  、测微目镜: 焦距f=167mm, 放大倍数B=15× 视场角20=400, 成象物镜 l、D=4.5 ll、D=10f=15f=23 图二富二标准平直( f=37 5、工作波长:6328nm 6、干涉室尺寸 深26ox宽300X190mm。 7、光源规格:激光ZN18(He一Ne) 8、仪器的外形尺寸 长/宽/高350/400/720mm 、仪器重量:100公斤