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版次:1.0编号:FM-67-002
版次:1.0
编号:FM-67-002
XX公司危害因素风险评价一览表
部门:全厂 评价人: 审核: 日期:2009、04、3 No.
序号
部门
活动/设施
危险源
危险及事
故后果
是否
违法
发生的
可能性
暴露
时间
事故
后果
危险性分值
D=L×E×C
外延车间
车间
未按规定配备灭火器
事故扩大
Y
外延车间
车间照明
电线短路
爆炸、火灾
0.5
0.5
100
25
外延车间
外延炉
电缆破损
电击伤
0.5
0.5
100
25
外延车间
外延炉
石英件破损
爆炸、火灾、中毒
1
0.5
100
50
外延车间
外延炉
可燃、可爆的特气泄漏
爆炸、火灾
1
0.5
100
50
外延车间
外延炉
有毒特气的泄漏
中毒
1
0.5
100
50
外延车间
外延炉
车间空气中有害物质浓度超标
职业伤害
3
6
3
54
外延车间
外延炉
炉子超温
爆炸、火灾、中毒
0.5
0.5
100
25
外延车间
外延炉
出气口堵塞导致钟罩超压
爆炸、火灾、中毒
0.5
0.5
100
25
外延车间
外延炉
进气太多导致钟罩超压
爆炸、火灾、中毒
0.5
0.5
100
25
外延车间
外延炉
停冷却水
爆炸、火灾、中毒
0.5
0.5
100
25
外延车间
外延炉
冷却水接头未接好或阀门未开或水管爆裂
爆炸、火灾、中毒
1
0.5
100
50
外延车间
外延炉
停氮气、压缩空气
爆炸、火灾、中毒
1
0.5
100
50
外延车间
外延炉
密封圈损坏
爆炸、火灾、中毒
1
0.5
100
50
外延车间
外延炉
镀金板烧熔溅到钟罩
爆炸、火灾、中毒
1
1
100
100
外延车间
外延炉
炉盖掉下
人员砸伤
1
0.5
40
20
外延车间
升钟罩
通氢过程结束氢气阀门与氮气阀门同时损坏,在升钟罩时仍继续通氢气
爆炸
0.2
0.5
100
10
外延车间
装、取硅片
硅片、基座很热
人员烫伤
6
6
1
36
序号
部门
活动/设施
危险源
危险及事
故后果
是否
违法
发生的
可能性
暴露
时间
事故
后果
危险性分值
D=L×E×C
外延车间
更换特气
移动时钢瓶倾倒
人员砸伤
3
0.5
7
10.5
外延车间
更换特气
管路未吹扫干净
职业伤害
3
0.5
15
22.5
外延车间
更换特气
钢瓶泄漏
中毒
3
1
7
21
外延车间
清洗硅片
酸液溅出
灼伤
6
3
7
126
外延车间
清洗硅片
酸气挥发
职业伤害
6
6
1
36
外延车间
清洗硅片
PE手套上有残留酸
灼伤
3
6
1
18
外延车间
清洗硅片
防酸手套破裂
灼伤
1
1
7
7
外延车间
清洗硅片
酸瓶碰破
灼伤
1
1
15
15
外延车间
清洗硅片
酸瓶掉落
人员砸伤、灼伤
1
1
15
15
外延车间
清理尾气管道
残渣清理
火灾、灼伤
1
2
7
14
外延车间
外延炉炉体区
氢气大量泄露
爆炸
0.2
0.5
100
10
外延车间
CV测试
漏汞
中毒
外延车间
拆包装
刀片使用不当
割伤
仓库
化学品储存
垛堆不规范或过高
引起化学灼伤或火灾
3
0.5
15
22.5
仓库
化学品储存
垛间间距不够或混堆
火灾或爆炸
1
2
15
30
仓库
化学品储存
风扇通风口没有遮蔽罩或遮蔽罩孔太大包装物或容器被老鼠咬破溶液逸出
火灾或爆炸
1
0.5
100
50
仓库
化学品储存
危化品禁忌物同库存放
火灾或爆炸
Y
仓库
化学品储存
特殊气候雨水进入化学库与遇水反应的化学品接触
火灾或爆炸
1
0.5
100
50
仓库
化学品储存
未强制通风后进入
窒息或中毒
3
1
7
21
仓库
化学品储存。
有机物挥发
火灾或爆炸
序号
部门
活动/设施
危险源
危险及事
故后果
是否
违法
发生的
可能性
暴露
时间
事故
后果
危险性分值
D=L×E×C
仓库
化学品储存。
过期危化品储存与处置
爆炸、燃烧. 窒息中毒或人身伤害
仓库
化学试剂到货卸车
搬运时未抓牢时脱落
砸伤、灼伤
3
2
7
42
仓库
化学试剂到货卸车
搬运姿势不当或搬运强度过大。
人员受伤
3
2
3
18
仓库
化学试剂到货卸车
未按规定佩带防护用品溶液逸出或破瓶
割手、灼伤
3
2
3
18
仓库
化学试剂: 仓库储存
拆除外包装使用刀具
割伤
3
2
1
6
送料
化学试剂:运送
堆放不稳或过高或车速过快振动大引起坠落、破瓶
化学灼伤或砸伤
3
2
3
18
送料
化学试剂:运送
危化品禁忌物混合运输
火灾或爆炸
Y
送料
化学试剂:运送
车速过快造成碰撞、翻车
灼伤、伤人
3
2
3
18
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