离子束与离子助.pptVIP

LOGO 离子束和离子助 普通真空镀膜 普通真空镀膜时,工件夹固在真空罩内,当高温蒸发源通 电加热后,促使待镀材料蒸发。由于升温,蒸发料粒子获 得一定动能,则沿着视线方向徐徐上升,最后附着于工件 表面上堆积成膜 真空镀膜 离子束和离子助 Your company slogan 目录 离子束沉积 2离子辅助沉积 Your company slogan 离子束沉积 定义 零在离子束沉积过程中,所希望的膜材 料被离化,具有高能量的膜材料离子 被引八到高真空区,在达到基片之前 诚速,以实现低能直接沉积。 Your company slogan 离子束沉积 原理 离子束沉积的简单原理示意图:1,离子源;2,离子提取器;3,墓片;4,离子束 Your company slogan