Q_110113MS800-2020MINSEOA PAE800系列非光敏型聚酰亚胺树脂.pdf

前 言 聚酰亚胺是指主链结构中含有酰亚胺基团的一类聚合物材料。非光敏型聚酰 亚胺树脂可借助普通光刻胶利用湿刻(碱性刻蚀剂)或干刻(反应活性离子)技术 在标准的集成电路生产工艺线上进行光刻制图或通孔。《MINSEOA PAE800 系列 非光敏型聚酰亚胺树脂》因目前尚无相应的国家标准或行业标准，故根据《中华 人民共和国标准化法》的规定，现制定本企业标准，作为组织生产和产品质量检 验的依据。 本标准按照 GB/T1.1-2009 《标准化工作导则：标准的结构和编写规则》编 写。 本标准由明士（北京）新材料开发有限公司起草。 本标准由明士（北京）新材料开发有限公司审批。 本标准主要起草人：贾斌、左立辉、豆秀丽。 本标准于2020 年首次发布并实施。 MINSEOA PAE800 系列非光敏型聚酰亚胺树脂 1 范围 本标准规定MINSEOA PAE800 系列非光敏型聚酰亚胺树脂的技术要求、标 识、包装、运输及贮存。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注明日期的引用文件，仅注 明日期的版本适用于本文件。凡是不标注日期的引用文件，其最新版本（包括所 有的修改版）适用于本标准。 GB 190 危险货物包装标识 GB/T265-1988 石油产品运动粘度测定法和动力粘度计算法 GB/T 606-2003 化学试剂 水分测定通用方法 卡尔·费休法 3 技术要求 3.1 本产品的外观为浅黄色或棕红色透明液体，无肉眼可见沉淀物或悬浮物。 3.2 本产品的质量指标应符合表1 规定。 表1 指标 项目名称 MINSEOA PAE801-1 MINSEOA PAE801-2 粘度（25℃）， mPa.s 1500±200 4500±200 固体含量（wt% ） 11.5±0.5 11.5±0.5 水分含量（wt% ） ＜0.5 0.5 颗粒物（≥0.5μm）, 个/mL ≤50 以下杂质单位：ppb Ca ≤100 Cr ≤100 Cu ≤100 Fe ≤100 Pb ≤100 Ni ≤100 K ≤100 Na ≤100 Zn ≤100 4 标志、包装、运输、贮存 4.1 标识 非光敏型聚酰亚胺树脂产品的包装容器上应有牢固的标识，其内容至少包括： 生产厂家名称、地址、产品名称、型号、批号、净含量、固体含量、生产日期。 4.2 包装 用棕色的玻璃瓶或塑料瓶包装,瓶上应贴有标签。外套黑塑料袋,