Q_320412 GCT 006-2019磁控溅射与分子束外延联合系统.pdf

N60 Q 国成仪器（常州）有限公司企业标准 Q/320412 GCT 006-20 19 磁控溅射与分子束外延联合系统 2019-12-10 发布 2020-01-01 实施 国成仪器（常州）有限公司 发 布 Q/320412 GCT 006-2019 前 言 本公司根据市场需求开发研制的磁控溅射与分子束外延联合系统。 本标准的结构与编写遵循GB/T 1.1-2009 的规定。 本标准由国成仪器（常州）有限公司提出并负责起草。 本标准主要起草人：董国材、张金龙、张祥。 本标准首次发布于2019 年12 月10 日.