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椭圆偏振仪测量薄膜厚度与折射率.pptVIP

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  • 2020-07-21 发布于福建
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椭圆偏振仪测量薄膜厚度与折射率.ppt

    测量薄灣度 ●●●● ●● ●● @ 实验目的 1)了解椭圆偏振法测量薄膜参数的 基本原理 (2)掌握椭圆偏振仪的使用方法,会 利用椭偏仪对薄膜厚度和折射率进 行测量 利用椭偏仪测量优点 精度高 较灵敏 ●非破坏性 实验原理装置 @ 激光管 D□ 检流计 衬底 s检偏器 1/4波片

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