特气管道施工工艺标准.pdf

For personal use only in study and research; not for commercial use QG/ZD Ⅱ-T03-12-2003 中国电子系统工程第二建设公司 洁净厂房 高纯气体管道施工工艺标准 拟稿单位：总工程师办公室 编 制： 邓 顺 志 审 核： 王 开 源 批 准： 侯 忆 二 OO 三年一月二十五日 目 录 1、总则 1 2、高纯气体的三个主要参数 1 3、管道材料选择 2 4、施工程序 4 5、图纸会审 5 6、工程测定 5 7、绘制管段图 5 8、设置预制洁净房 6 9、材料检查确认 6 10、保护气体的供给和管理 9 11、管段预制 11 12、现场配管施工 13 13、压力试验 19 14、系统吹扫 20 15、系统测试 21 附录 1 露点、含湿量、绝对湿度换算表 24 附录 2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 26 附录 3 EP/BA 管自动氩弧焊接钨棒尺寸表 27 1. 总则 1.1 本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。 1.2 气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电 管线共架时应设在其上部。 1.3 当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与 其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。 1.4 高纯气体管道的设计应符合下列要求： a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不 小于 φ6 ×1mm； b. 管道系统应尽量短； c. 不应出现不易吹除的盲管、死角； d. 管道系统应设必要的吹除口和测试取样口。 1.5 气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或 楼板之间应采取可靠的密封措施，并用装饰板封堵。 1.6 可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。放散管引至室外应 高出屋脊 1 米，并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体和氧气管道还 应符合《洁净厂房设计规范》 8.4 安全技术措施的有关要求。 1.7 高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。 2. 高纯气体的三个主要参数 所谓高纯气体管道的洁净技术控制，主要是指气体纯度、干燥度、洁 净度的控制（即三度控制） 。 2.1 气体纯度 指气体中杂质气氛的含量， 通常用气体纯度的百分数表示， 如 99.9999% （俗称6 个 9），也可用杂质气氛含量的体积比 ppm、ppb 表示。 洁净厂房高纯气体管道系统建成的各个环节必须做到上流的合格气体 流经厂房管道系统到达用气点的气体纯度仍能满足工艺对用气纯度的要 求。 2.2 干燥度 气体中微量水分的含量，通常以露点表示，如露点 -70℃，或 以含湿量 ppm 表示，如含湿量 2.584ppm。（两者的转换见附录 1） 2.3 洁净度 指气体中含有污染物粒子的数量， 粒径为 μm 的粒子的个数， 3 。高纯气体管道通常使用在洁净的生产环境当中，对应的洁净环境等 pc/m 级，在《洁净厂房设计规范 GB50073-2001》中，直接采用国际标准 ISO14644-1 （详见附录2） 对高纯气体洁净度的控制