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PERC SE 高效单晶电池 生产工艺培训 2019-05-04 JiaYue SOLAR 1 前言 - 太阳能电池在整个光伏产业链 中的位置 虚线部分为电池片在产业链中的位置 JiaYue SOLAR 2 PERC 电池结构与工艺流程 PERC SE 电池结构为在正面制备 选择性发射结 ，背面 沉积介质膜钝化层 AlO x /SiNx ，此结构 可提高电池光电转换效率。 ? 降低扩散层复合，提高光线的短波响应； ? 减少前金属电极与硅的接触电阻，提高短路电流、开路电压和填充因子； ? 降低背表面复合速率，提升开路电压； ? 增强背表面长波光反射效应，提升短路电流。 ? PERC SE 电池结构 ARC(SiO x +SiN x ) Ag Al BSF (Local) AlO x SiNx P-Si N-Si(SE) JiaYue SOLAR 3 PERC 电池结构与工艺流程 ? PERC 高效电池工艺流程 制绒 扩散 刻蚀 热氧 +AlOx+ SiNx PECVD/ARC 激光开槽 选择性发射结 丝网印刷 烧结 测试分选 退火 Texturin g Diffusion Etching Hot Oxy+AlOx+ SiNx Passivation