微波放电zzp 课件.pptVIP

USTC ABCD Lab 交流放电 按照频率划分可分为 高频放电 （ 兆赫兹以上 的气体放电形式 ） 低频放电 （ 兆赫兹以下 ）。 低频放电 的外观与直流放电一样，放电电流发生周期性 改变。 高频放电 由天线（电极）从外部获得功率，通过电磁场 对电子的加速作用来产生和维持等离子体。 高频放电 USTC ABCD Lab ? 在交流放电中，频率对击穿电压的影响很大，一 般情况下高频比低频的击穿电压低。 ? 高频放电中正离子在阴极引起的次级电子发射过 程对气体击穿和维持放电没有重要作用，这是其 与直流放电的明显区别。 USTC ABCD Lab ? 高频放电 虽与直流放电有些类似之处，但更重 要的是由于放电机制不同产生了许多新的现象和 特征，这些特征对等离子体化学反应来说是十分 有利的，目前在实用化的非平衡等离子体工艺中 ，高频放电占绝对优势。 高频放电 USTC ABCD Lab ? 高频放电 依据天线（电极）耦合方式不同，又分 为 射频放电 （包括电容耦合和感应耦合）和 微波 放电 （也称为电磁波耦合）。 ? 电容耦合：利用静电场来加速电子（直接激发 E 型放电）。 ? 电感耦合：利用感应电场加速电子（感应激发 H 型放电）。 ? 电磁波耦合：利用电磁波产生等离子体（直接激 发 E 型放电） 。 USTC A