JJF光学干涉式薄膜测厚仪校准规范.pdf

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2020-07-24 发布于北京
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中华人民共和国国家计量技术规范光学干涉式薄膜测厚仪校准规范 Calibration Specification of Optical Interference Thin Film thickness Measuring Insturments 国家市场监督管理总局发布光学相干式薄膜测厚仪校准规范 JJF ×××× –×××× Calibration Specification of Optical Interference Thin Film thickness Measuring Insturments 归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会主要起草单位：参加起草单位：本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释目录引言 1 1 范围2 2 引用文件2 3 概述2 4 计量特性2 4.1 厚度测量重复性2 4.2 厚度测量示值稳定性2 4.3 厚度测量示值误差2 5 校准条件3 5.1 环境条件3 5.2 校准用设备3 6 校准项目和校准方法3 6.1 校准前准备3 6.2 厚度测量重复性3 6.3 厚度测量示值稳定性3 6.4 厚度测量示值误差3 7 校准结果的表达4 8 复校时间间隔4 附录 A 校准证书内容5 附录 B 测量结果不确定度评定（示例）6 附录 C 厚度标准片技术要求 8