上海集成电路制造用300毫米硅片技术研发与产业化项目环评报告表.pdfVIP

1.项目概况 本项目建设单位为上海新昇半导体科技有限公司，项目位于上海市浦东新区 1000 300 泥城镇云水路 号，拟对原批复的 “集成电路制造用 毫米硅片技术研发 与产业化项目”进行调整。该项目于2015年7 月获得环评批复 （沪浦环保许评 [2015]1376 号），目前仅完成部分验收，本次调整是在已验收部分完成非重大变 更基础上对项目整体的进一步调整，调整后项目将重新开展整体验收。本次调整 主要内容包括生产工艺调整、生产设备调整及环保措施优化等。调整后项目仍从 事集成电路制造用300毫米半导体硅片的研发与生产，生产规模不变。 2.区域环境质量现状 2.1 大气环境质量现状 2018 本项目大气评价范围内涉及奉贤区和浦东新区。根据 《 年奉贤区环境 状况公报》，2018年奉贤区臭氧超出国家环境空气质量二级标准，因此本项目 所在区域为不达标区。 通过引用邻近区域点浦东新区惠南监测站2018年的长期数据，基本污染物 的年评价指标都满足 《环境空气质量标准》 （GB3095-2012）中相应二级标准。 通过引用历史监测资料，本项目其他污染物中氯化氢、氨的1h 平均浓度，氟化 1h 24h GB3095-2012 物的 平均浓度和 平均浓度可满足 《环境空气质量标准》 （ ） 二级标准，非甲烷总烃的1h 平均浓度满足 《大气污染物综合排放标准详解》中 3 2mg/m 的空气质量浓度限值要求。 2.2 地表水质量现状 本项目排放的废水均纳入市政污水管网，进入临港新城污水处理厂经深度处 2018 理后达标排放至杭州湾，根据 《 年上海市生态环境状况公报》，杭州湾海域 所有监测点位均劣于第四类海水水质标准，超过执行的 《海水水质标准》 GB3097-1997 （ ）的第三类标准。 2.3 声环境质量现状 由现有厂界噪声监测数据可知，项目四周边界昼夜噪声能够做到达标排放， 所在区域声环境质量较好。 2.4 地下水环境质量现状 根据地下水环境质量现状监测数据统计结果，采用标准指数法分析可知，监 测期间，检出因子中，部分点位钠、氨氮、溶解性总固体、氯化物、高锰酸盐指 1 数超标。其余监测点位各监测因子检出值标准指数均1，均符合 《地下水质量标 GB/T14848-2017 准》（ ）Ⅳ类标准。综合分析认为，上述钠、溶解性总固体、氯 化物超标可能由于受海水浸入影响所致，氨氮、高锰酸盐指数超标可能由于区域 生活及农业面源污染所致。 2.5 土壤环境质量现状 根据土壤环境质量现状监测结果统计分析结论可知，监测期间，各监测点位 相应检出因子的监测值均符合 《土壤环境质量 建设用地土壤风险管控标准 （试 行）》（GB36600-2018）的二类用地筛选值，土壤中监测的VOCs和SVOCs物质 均未检出。评价区土壤环境质量较好。 3.环境影响控制措施与预测评价 3.1 废水 3 3 项目调整后生产废水排放量由原1195m /d 增加至2725m /d；生活污水排放 3 3 3 3 量由58m /d 增加至80m /d；废水排放总量由1253m /d 增加为2805m /d，新增 3 废水排放量约1552m /d。调整后废水种类包括工艺废水 （包括切割废水、研磨 废水、酸碱废水、含氟废水、清洁类废水）、纯水系统排水、工艺设备冷却水排 水、冷却塔排水、废气洗涤塔排水、员工生活污水等。工艺废水、纯水系统排水、