纳电子学1幻灯片资料.ppt

纳米技术及纳电子学;纳米技术的基本概念;Metric System;费曼之梦; Nanotechnology Vision ;纳米技术的意义; 许多人认为纳米科技仅仅是遥远的未来基础科学的事情,而没有什么实际意义。但我确信纳米科技现在已具有与此同时150年前微米科技所具有的希望和重要意义。150年前,微米成为新的精确标准,并成为工业革命的技术基础,最早和最好学会并使用微米技术的国家都在工业发展中占据了巨大的优势。同样,未来的技术将属于那些明智地接受纳米作为新标准,并首先学习和使用它的国家。我们应当记住,微米技术曾同样被认为对使用牛耕地的农民无关紧要。的确,微米与牛毫无关系,但它却改变了耕作方式,带来了拖拉机。 --- H.Rohrer,IBM苏黎世实验室,1993年;纳米技术研究内容;纳米技术的主要特征;纳米材料分类;纳米材料和技术领域发展的历史;纳米科技发展的重要事件;纳米科技发展的重要事件;纳米科技发展的重要事件;国际上纳米研究;中国在纳米方面的研究;中国纳米科技发展的总体目标;中国纳米科技发展的总体目标;纳米级中国地图，刻线粗细为10纳米 ;纳米测量和加工显微镜;扫描隧道显微镜;当导电金属针尖距离导电物质表面足够近时（1nm），探针针尖和物质表面就会有隧道电流通过，微弱的隧道电流信号可以被电路放大，并准确记录。 隧道电流对样品表面之间的距离呈指数关系，根据量子理论计算，距离每减小0.1nm（一个氢原子的直径），隧道电流值会增加10倍。在探针扫描时，通过测量这种隧道电流的变化就可以记录下物体表面的起伏情况，再经计算机重建后就可以获得反映物体表面形貌的直观图象。 STM只能用于导体和半导体。;扫描隧道显微镜;扫描隧道显微镜;There are two basic modes of STM operation, In the constant current mode the tunneling current is measured when the tip is positioned near the surface and is suitable biased in the 5 mV – 2 V range. The tip is scanned over the surface and any change in the tunneling current is sensed by a feedback loop, which then changes, if necessary the height z such that the current remains constant. Finally, a map z(x,y) is obtained. In the constant height mode, the tip is scanning the surface at a constant height and the current is directly measured obtaining finally the map I(x,y);原子力显微镜;计算机发出的数字信号经DAC转化为模拟信号，以高压运放放大后驱动压电陶瓷管作XY平面扫描。 当探针在样品表面扫描时，由于样品表面起伏不平而使探针带动微悬臂弯曲变化，而微悬臂的弯曲又使得光路发生变化，最终导致照射到光敏检测器上的激光光斑位置发生移动。光敏检测器将光斑位移信号转换成电信号，经放大处理后，计算机通过ADC采集每个X，Y坐标点所对应的反馈电路输出值，再转化为灰度级在监视器上显示出扫描范围中样品的表面形貌。 样品同探针距离调整采用步进电机带动螺杆使样品台升降来控制，开始工作时启动样品逼近开关，样品台上升带动样品向探针逼近，当样品距探针到达设定的工作距离时，检测系统自动发出一负脉冲信号，从而使步进电机迅速停下来，此时系统进入工作状态。 ;原子力显微镜;近场光学显微镜;;扫描噪声显微镜;扫描隧道电位仪;弹道电子发射显微镜;扫描热显微镜;扫描离子电导显微镜;光子扫描隧道显微镜;纳米电子学/纳电子学;三代电子器件;摩尔定律;纳电子学;解决的思路;纳米效应;表面效应;小尺寸效应;量子尺寸效应;电子能级的不连续性;电导量子化;电导量子化;电导量子化;库仑堵塞现象;隧道效应;单电子晶体管 SED;单电子晶体管结构;单电子晶体管组装;单电子晶体管化学自组装;单电子晶体管化学自组装;单电子晶体管记忆元件 SEM;纳米结构高效电容; ;C ~ A, 符合电容的经典行为;SED性能和研究难点;碳能否取代硅？;碳纳米管（Carbon nanotube）;碳纳米管（Carbon nanotube）;碳纳米管结构示意图 (A) 椅形单壁碳纳