应变片压力传感器原理与应用.pdfVIP

` 应变片压力传感器原理与应用 电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。它是压阻式应变传感器的主要组 成部分之一。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片 和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上，当基体受力发 生应力变化时，电阻应变片也一起产生形变，使应变片的阻值发生改变，从而使加在电阻上的电压发生变化。 这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小，一般这种应变片都组成应变电桥，并通过后续的仪表放大器进 行放大，再传输给处理电路（通常是 A/D 转换和 CPU）显示或执行机构。 金属电阻应变片的部结构 如图 1 所示，是电阻应变片的结构示意图，它由基体材料、金属应变丝或应变箔、绝缘保护片和引出线等部分 组成。根据不同的用途，电阻应变片的阻值可以由设计者设计，但电阻的取值围应注意：阻值太小，所需的驱 动电流太大，同时应变片的发热致使本身的温度过高，不同的环境中使用，使应变片的阻值变化太大，输出零 点漂移明显，调零电路过于复杂。而电阻太大，阻抗太高，抗外界的电磁干扰能力较差。一般均为几十欧至几 十千欧左右。 电阻应变片的工作原理 金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象，俗称为电 阻应变效应。金属导体的电阻值可用下式表示： 式中：ρ——金属导体的电阻率（Ω· cm2/m ） S——导体的截面积（ cm2 ） L——导体的长度（ m ） 我们以金属丝应变电阻为例，当金属丝受外力作用时，其长度和截面积都会发生变化，从上式中可很容易看 出，其电阻值即会发生改变，假如金属丝受外力作用而伸长时，其长度增加，而截面积减少，电阻值便会增大。 当金属丝受外力作用而压缩时，长度减小而截面增加，电阻值则会减小。只要测出加在电阻的变化（通常是测 量电阻两端的电压） ，即可获得应变金属丝的应变情况。 2、瓷压力传感器原理及应用 抗腐蚀的瓷压力传感器没有液体的传递，压力直接作用在瓷膜片的前表面，使膜片产生微小的形变，厚膜电 阻印刷在瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥 ( 闭桥 )，由于压敏电阻的压阻效应，使电桥产生一个与压力 成正比的高度线性、 与激励电压也成正比的电压信号， 标准的信号根据压力量程的不同标定为 2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V 等，可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定，传感器具有很高的温度稳定性和时间稳定性，传 感器自带温度补偿 0～ 70℃，并可以和绝大多数介质直接接触。 瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以 使它的工作温度围高达 -40～ 135℃，而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度 2kV，输出信号强， 长期稳定性好。高特性，低价格的瓷传感器将是压力传感器的发展方向，在欧美国家有全面替代其它类型传感 器的趋势，在中国也越来越多的用户使用瓷传感器替代扩散硅压力传感器。 3、扩散硅压力传感器原理及应用 Word 文档 ` 工作原理 被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上 （不锈钢或瓷），使膜片产生与介质压力成正比的微位移， 使传感 器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。 4 、蓝宝石压力传感器原理与应用 利用应变电阻式工作原理，采用硅 -蓝宝石作为半导体敏感元件，具有无与伦比的计量特性。 蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成，不会发生滞后、疲劳和蠕变现象；蓝宝石比硅要坚固，硬度更高，不怕 形变；蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性（ 1000 OC 以），因此，利用硅 -蓝宝石制造的半导体敏感元件， 对温度变化不敏感，即使在高温条件下，也有着很好的工作特性；蓝宝石的抗辐射特性极强；另外，硅 -蓝 宝石半导体敏感元件，无 p-n 漂移，因