第四章 力敏传感器.ppt

4.1.5 电阻应变式传感器应用 ? 1 ，应变式力传感器 ? 2 ，应变式压力传感器 ? 3 ，应变式加速度传感器 4.1.5 电阻应变式传感器应用 ? ① 柱（筒）式力传感器 图 4-12 柱（筒）式力传感器 4.1.5 电阻应变式传感器应用 ? 电桥的输出电压为 从而得到被测力 F 为 4.1.5 电阻应变式传感器应用 ? ② 环式力传感器 （ a ） 环式弹性原件 （ b ）应力分布曲线 图 4-13 环式力传感器 4.1.5 电阻应变式传感器应用 ? 悬臂梁式力传感器是一种结构简单、高精度、应 变片容易黏贴、抗偏、抗侧性能优越的称重测力 传感器。最小可以测几十克，最大可以测几十吨 的质量，精度可达到 0.02%FS 。 ? 悬臂梁有两种：一种为等截面梁，另一种为等强 度梁 4.1.5 电阻应变式传感器应用 （ a ）等截面梁 （ b ）等强度梁 图 4-14 悬臂梁 4.1.5 电阻应变式传感器应用 ? 应变式压力传感器 图 4-15 筒式压力传感器 圆筒外表面沿圆周方 向产生的环向应变为 对于薄壁圆筒，环向 应变为 4.1.5 电阻应变式传感器应用 ? 应变式加速度传感器 图 4-16 应变式加速度传感器 当被测点的加速度沿图中箭头 a 所示方向时，悬臂梁自由端 受惯性力 的作用，质量块向箭头 相反的方向相对于基座运动， 使梁发生弯曲变形，应变片电 阻发生变化，产生输出信号， 输出信号大小与加速度成正比 。 4.2 压电式力传感器 ? 4.2.1. 压电效应和压电材料 ? 压电效应 某些电介质在受到一定方向的外力作 用下发生形变时，内部会产生极化现象，同时在 其表面会产生电荷，且所产生的电荷量与外力的 大小成正比。 (a) 正压电效应 (b) 正压电效应的可逆性 图 4-17 压电效应 4.2.1. 压 电效应和压电材料 ? 1, 压电材料的主要特性参数 ? 压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到 压电输出灵敏度。 ? 弹性常数压电材料的弹性常数决定着压电器件的固有频率 和动态特性。 ? 介电常数对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与 介电常数有关，而固有电容又影响着压电传感器的频率下 限。 ? 机电耦合系数它定义为：在压电效应中，转换输出的能量 （如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根。它 是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 ? 电阻压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电 传感器的低频特性。 ? 居里点即压电材料开始丧失压电性的温度。 4.2.1. 压 电效应和压电材料 ? 2, 石英晶体的压电效应 图 4-18 石英晶体 4.2.1. 压电效应和压电材料 图 4-19 石英晶体压电效应机理示意图 4.2.1 压电效应和压电材料 ? 3, 压电陶瓷的压电效应 图 4-20 钛酸钡 BaTiO_3 的压电效应 (a) 未极化 (b) 极化 (c) 极化后 4.2.1. 压 电效应和压电材料 ? 4. 新型压电材料 ? 压电半导体 ? 有机高分子压电材料 4.2.2 压电传感器的等效电路与测量线路 ? 4.2.2.1 等效电路 电容量为 输出端电荷为 输出端电压为 图 4-21 压电原件等效电路 (a) 电荷等效电路 (b) 电压等效电路 4.2.2 压电传感器的等效电路与测量线路 图 4-22 压电式传感器测试系统等效电路 (a) 电压等效电路 (b) 电荷等效电路 4.2.2 压电传感器的等效电路与测量线路 ? 4.2.2.2 测量电路 ? 1. 电压放大器 图 4-23 压电式传感器与电压放大器连接的等效电路 (a) 等效电路 (b) 简化后的等效电路 4.2.2 压电传感器的等效电路与测量线路 ? 2. 电荷放大器 图 4-24 压电传感器与电荷放大器连接的等效电路 电荷放大器的输出电压 4.2.2 压电传感器的等效电路与测量线路 图 4-25 电荷放大器电路 4.2.3 压电式传感器的应用举例 ? 压电式测力传感器 图 4-26 压电式测力传感器的基本结构 4.2.3 压电式传感器的应用