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扫描电子显微镜和能谱分析技术
(Scanning Electron Microscopy
Energy Dispersive Spectrometer)
(SEM/EDS)
安泰科技研发中心
郭金花
主要内容
扫描电镜(SEM)
能谱仪(EDS)
扫描电镜的作用
能谱的构原理
扫描电镜的工作原理
能谱的特点
扫描电镜的主要构造
JEOL6380SEM和EDAX
EDs的主要功能
扫描电镜对样品的作用。样品的制备
1扫描电镜的作用:
显微形貌分析:
应用于材料、医药以及生物等领域。
成分的常规微区分析:
元素定性、半定量成分分析
2扫描电镜的工作原理
电子源
阴极
电磁透镜聚焦
控制极
阳极
扫描
电子束
电子信号
光镜
探测信号
屏幕显像
试样
样品表面激发的电子信号
二次电子[:电背散射电子
俄歇电子
特征X射线
吸收电子
样品
透射电子
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