湿度传感器的分类及特性演示幻灯片.ppt

1 课题一 湿度传感器的分类及特性 任务目标 ★熟悉湿度的表示方法和湿度传感器的主要特性； ★熟悉半导体陶瓷湿度传感器、有机高分子湿度 传感器的基本结构，掌握其感湿特性。 2 一、湿度传感器概述 湿度是指物质中所含水分的量，可通过湿度传 感器进行测量。湿度传感器是将环境湿度转换 为电信号的装置 ，现代化的工农业生产及科 学实验对空气湿度的重视程度日益提高，要求 也越来越高，如果湿度不能满足要求，将会造 成不同程度的不良后果。 3 1 ．湿度的表示方法 狭义的湿度是指空气中水汽的含量，常用绝对湿度、 相对湿度和露点（或露点温度）等来表示。 （ 1 ）绝对湿度 绝对湿度是指在一定温度及压力条件下，单位体积 待测气体中含水蒸气的质量，即水蒸气的密度，其 数学表达式为 v a M H V ? （ 3-1 ） 式中 M v —— 待测气体中水蒸气的质量； V —— 待测气体的总体积； H a —— 待测气体的绝对湿度，单位为 g/m3 。 4 （ 2 ）相对湿度 相对湿度为待测气体中的水蒸气压与同温度下水的 饱和蒸气压的比值的百分数，其数学表达式为 V W 100% P RH P ? ? （ 3-2 ） 式中 P V —— 某温度下待测气体的水蒸气压； P W —— 与待测气体温度相同时水的饱和蒸气压； RH —— 相对湿度，单位为 %RH 。 5 饱和水蒸气压与气体的温度和气体的压力有关。 当温度和压力变化时，因饱和水蒸气压变化，所 以气体中的水蒸气压即使相同，其相对湿度也会 发生变化，温度越高，饱和水蒸气压越大。日常 生活中所说的空气湿度，实际上就是指相对湿度 而言。 凡谈到相对湿度，必须同时说明环境温度 ， 否则，所说的相对湿度就失去确定的意义。 6 （ 3 ）露点 水的饱和蒸气压随温度的降低而逐渐下降。在同样 的空气水蒸气压下，温度越低，则空气的 水蒸气压 与同温度下水的 饱和蒸气压 差值越小。当空气温度 下降到某一温度时，空气中的水蒸气压与同温度下 水的饱和水蒸气压相等。此时，空气中的水蒸气将 向液相转化而凝结成 露珠 ，相对湿度为 100 ％ RH 。 该温度称为空气的 露点温度 ，简称露点。如果这一 温度低于 0 ℃ 时，水蒸气将结霜，又称为 霜点温度 。 两者统称为露点。空气中水蒸气压越小，露点越低， 因而可用露点表示空气中的湿度。 7 2 ．湿度传感器的主要特性 （ 1 ）感湿特性 感湿特性为湿度传感器的 感湿特征量（如电阻、电 容、频率等）随环境湿度 变化的规律，常用感湿特 征量和相对湿度的关系曲 线来表示，如图 3-1 所示。 图 3-1 湿敏元件的感湿特性曲线 按曲线的变化规律，感湿特性曲线可分为正特性曲 线和负特性曲线 。性能良好的湿度传感器，要求 在所测相对湿度范围内，感湿特征量的变化为线性 变化，其斜率大小要适中。 8 （ 2 ）湿度量程 湿度传感器能够比较精确测量相对湿度的最大范围称 为湿度量程。一般来说，使用时不得超过湿度量程规 定值。所以在应用中，希望湿度传感器的湿度量程越 大越好，以 0%~100%RH 为最佳。 湿度传感器按其湿度量程可分为高湿型、低湿型及全 湿型三大类。高湿型适用于相对湿度大于 70%RH 的场 合；低湿型适用于相对湿度小于 40%RH 场合；而全湿 型则适用于 0%~100%RH 的场合。 9 （ 3 ）灵敏度 灵敏度为湿度传感器的感湿特征量随相对湿度变化 的程度，即在某一相对湿度范围内，相对湿度改变 1%RH 时，湿度传感器的感湿特征量的变化值，也就 是该湿度传感器感湿特性曲线的斜率。 由于大多数湿度传感器的感湿特性曲线是非线性的， 在不同的湿度范围内具有不同的斜率，因此常用湿 度传感器在不同环境湿度下的感湿特征量之比来表 示其灵敏度。如 R 1%/ R 10% 表示器件在 1%RH 下的电 阻值与在 10%RH 下的电阻值之比。 10 （ 4 ）响应时间 当环境湿度增大时，湿敏器件有一吸湿过程，并产 生感湿特征量的变化。而当环境湿度减小时，为检 测当前湿度，湿敏器件原先所吸的湿度要消除，这 一过程称为脱湿。所以用湿敏器件检测湿度时，湿 敏器件将随之发生吸湿和脱湿过程。 在一定环境温度下，当环境湿度改变时，湿敏传感 器完成吸湿过程或脱湿过程（感湿特征量达到稳定 值的规定比例）过程所需要的时间，称为响应时间。 感湿特征量的变化滞后于环境湿度的变化，所以实 际多采用感湿特征量的改变量达到总改变量的 90% 所 需要的时间，即以相应的起始湿度和终止湿度这一 变化区间 90% 的相对湿度变化所需的时间来计算。 11 （ 5 ）感湿温度系数 湿度传感器除对环境湿度敏感外，对温度也十分敏感。 湿度传感器的温度系数是表示湿度传感器的感湿特性 曲线随环境温度而变化的特性参数。在不同环境温