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K575X Peltier制冷型高分辨率溅射仪
优点● 可溅射易氧化金属精细颗粒,如:铬或铱● 易操作● 无需水冷却● 超高分辨率,可复制涂层● 适应各种样品● 重复膜厚沉积● 样品容易装载和卸载● 不需要打开真空即可进行顺序涂层● 沉积厚度可预设K575X使用“涡轮
优点● 可溅射易氧化金属精细颗粒,如:铬或铱● 易操作● 无需水冷却● 超高分辨率,可复制涂层● 适应各种样品● 重复膜厚沉积● 样品容易装载和卸载● 不需要打开真空即可进行顺序涂层● 沉积厚度可预设
特点● 全自动控制● Peltier冷却溅射头● 精细镀层(0.5nm Cr粒子)● 可倾斜的特殊旋转台作为标准配置● 薄膜沉积(典型为5nm)● 直径为165mm腔室● 可选双溅射头● 可接膜厚测控仪
南京覃思科技有限公司(英国Emitech电镜制样设备中国区代理)南京市红山路177号2-211电话:025FAX)网址: 邮箱:sales@技术规格仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H 工作腔室:硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H安全钟罩:聚碳酸酯基座: 110 mm直径x 115mm高重量:42公斤靶:57 mm 直径 x 0.2mm 厚(铬作为标准靶材)样品台:50mm直径,具有倾斜功能的旋转台 真空范围:ATM-1x10-5 mbar操作真空:1 x 10-3 mbar到 1 x 10-4 mbar溅射电流:0-150mA沉积速率:0-20nm/分溅射定时: 0-4 分钟涡轮分子泵:60 litres/Second (极限真空 1x10-8 mbar)Services - Argon - Nominal 10 psi; Nitrogen- Nominal 10 psi (Argon may be used as common gas)真空泵:No 3. 泵complete with Vac. Hose & Oil Mist Filter 电源:
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