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NCE SJ III及Super Trench MOSFET
技术介绍技术介绍
2016.6月巡回培训会
新洁能公司基本情况
以先进功率器件与模块研发为强项 ，依托 “产学研”创新团队 ，集设计、生产、销售与售
后技服为一体 ，为DMOS客户提供一流的产品与服务 ；
研发 生产 销售 售后
强大的研发团队 可靠芯片代工厂 三大销售中心 售后服务
晶圆代工
心 心 中 中 究 究 研 研 合 合 联 联 件 件 器 器 率 率 功 功
功率器件
学 学 大 大 南 南 东 东 研发部 封装代工 无锡 FAE
功率模块
研发部研发部
-
能 洁 新 锡 无
芯片测试 IQC & OQC
实验室 自建模块产线
深圳
失效分析
实验室
质量体系部
整机系统
验证实验室
共计36人 ，其中博士2人 ， 后续技术需
硕士13人。 香港 求
表征功率器件的指标
一个良好的设计要求Q越高越好
DMOS导通电阻构成
两大基础理论
电导调制原理
在大注入条件下,出现电导调制效应,非平衡载流子导电, 此时导通电阻将大大
减 .(典型应用案例 IGBT)
改善电流能力(导通电阻), 缺点开关速度不高.
场相互作用原理
利用引入电荷或改变电荷分布, 出现横向场和纵向场相互作用, 使得某一方向
上的电场达到最优分布. （典型应用案例，SJ-MOSFET ，SGT-MOSFET ）
提高耐压(在相同的导通电阻情况下) ，缺点是工艺相对复杂
IGBT SJ-MOSFET SGT-MOSFET
电导调制原理器件 场相互作用原理器件
SJ-MOSFET
SJ-MOSFET的概念
1993年，电子科技大学陈星弼院士提出使用纵向PN结制造高压功率器件的超结
(Super
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