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Tankertanker Design 检测与控制技术综合实验 华中科技大学材料科学与工程学院实验教学 中心 Tankertanker Design 压阻式压力传感器的压力测量 1. 实验目的 2. 实验仪器 3. 实验原理 4. 实验内容与步骤 5. 实验报告 6. 注意事项 Tankertanker Design 了解扩散硅压阻式压力传感器测量 压力的原理和方法。 一 . 实验目的 Tankertanker Design 二、实验原理 A l R ? ? A dA l dl d R dR ? ? ? ? ? 等式两边取 微分 ： 压阻效应 : 是指当半导体受到应力作用时， 由于载流子迁移率的变化，使其电阻率发 生变化的现象。 从上面可以看出， 电阻率发生变化， 半 导体的电阻也就发生变化。 Tankertanker Design 采用单晶硅为传感器的弹性元件，在它上面直 接蒸镀半导体电阻应变薄膜，用导线将其构成 平衡电桥。 Tankertanker Design 初始状态电桥平衡，输出为 0 ，受力 P 后，电 桥输出与 P 相对应。 Tankertanker Design ? 主控箱 ? 压阻式压力传感器 ? 压力传感器实验模块 ? 气源连接导管 三 . 实验仪器 Tankertanker Design 1. 按照下图连接管路和电路 四 . 实验内容与步骤 压阻式压力传感器测压实验安装、接线图 Tankertanker Design 2 、显示选择开关拨到 20V 档，合上主机箱电源开关， RW1 旋到满度的 1 ／ 3 位置（逆时针转到底再顺时针转两 圈），仔细调节 RW2 使主机箱电压表显示为零 ,RW3 调到 中间位置。 3 、顺时针旋转主控台面板的流量计旋钮到底（此时主控 箱内压力罐压力最大）。 4 、合上主控箱上的气源开关（启动压缩泵），此时主控 台压力表同步显示当前的气源压力值，同时记录当前的 V o2 的输出电压值。 5 、逐步关小流量计旋钮（逆时针旋转流量计旋钮），使 在 4~20KP 之间每下降 2KP 分读取压力表读数，同步记录数 据。 6 、实验完毕，关闭电源。整理实验器材，放回原处。 Tankertanker Design 1 、 整理实验数据图 , 画出 P-V 实验曲线。 2 、计算本系统的灵敏度 S 和非线性误差 δ 。 S ＝ ΔU/ΔP （ ΔU 为输出电压变化量， ΔP 为压力变化量） δ=Δ m/ yFS × 100 ％ （ Δ m 为输出值与拟合直线的最大偏差： yFS 满量程输出平均值，此处为 20KPa 时的输出值） 3 、思考：如何使本实验装置成为一个压力计？ 5. 实验报告 Tankertanker Design 电容式传感器位移特性试验 1. 实验目的 2. 实验仪器 3. 实验原理 4. 实验内容与步骤 5. 实验报告 6. 注意事项 Tankertanker Design 一 . 实验目的 了解电容式传感器结构及其特点。 Tankertanker Design 二 . 实验仪器 ? 主机箱 ? 电容传感器 ? 电容传感器实验模块 ? 测微头 ? 数显单元（主控台电压表） ? 直流电压表 Tankertanker Design 三 . 实验原理 平板电容的电容量计算公式： C= ε S/d=S/4 π kd 利用平板电容 和其他结构的关系式通过相应 的结构和测量电路可以选择 ε 、 A 、 d 三个 参数中，保持两个参数不变，而只改变其中 一个参数，则可以有测谷物干燥度（ ε 变） 、测微小位移（ d 变）和测量液位（ A 变）等 多种电容传感器。 Tankerta