JBT10439_单晶炉TDR系列直拉法单晶炉.pdfVIP

ICS 25.160.10 x 61 i 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 10439-2004 单 晶 炉 TDR系列直拉法单晶炉 Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method 2004-03-12发布 2004-08-01实施 好资料 . 好资料好资料 中华人民共和国国家 发布 . JB/f 10439-2004 目 次 前言 .‘.t-..……，..-.--...……，一 ，...…… ，-..-…… ，.，...一Ill l范围.二t-.. ..一 ，.t... -一 ，..…‘.… ‘……，...-一，… …1 2规范性引用文件..……t .-……‘.… ，… ，.… ，二，，-.-……，，，..…‘…1 3 术语和定义.-..…“._.，..二‘-.-..…… 卜二‘.‘……，… …卜..- ..一 t‘.一，一 1 4 产品分类…‘……t...二“-一 ，...一 ‘-二，二，.……‘…‘，，，二‘.一2 4.1品种和规格. _..t -… ‘ _一 ，..…“ ._. ..- “‘_. .一 2 4.2型号:…… _.…，.， …… ‘一 ，，-…… ，，二‘ 2 4.3 主要参数一，.二‘……，，-…… ，，一 ，.，‘… … ，，… …，一‘… ，一 2 5技术要求-一 t... … …，，-.一 ‘.… 价，. .…，，，..…，·····- 3 5.1一般要求...一‘ ..一‘二价..…卜.‘二卜... .. ……价……，..… ‘.，，.，...一 3 5.2对设计和制造的补充要求，.，-… …卜-..… ，.… …卜._ ……，..-3 5.3 性能要求 _二，.，，，…t.-- …，…，.……‘.……，…，.，，.一 ‘. .‘...，，.，，.….. 4 5.4 成套要求.…… ，.，..…，… …，.，，，，，.，-… …，，二，- .… …，5 6试验方法-… …，.二‘……价.，，.，.…， … …，，，，，，一，二‘二 ，.，，，.-二5 6:1压升率的测量-.-..…二..--一 ，..--.- 5 6.2 炉温均匀度的测量.，.，，.… … ‘.…，， .… ，… …， 5 6.3加热能力和热炉抽气能力试验‘价- 一 一一 6 6.4运动参数相对偏差的测量 ..……卜二卜...…… ‘ .… 卜卜二，...-.…‘一”卜 6 6.5 速度百分偏差的测量二 ， .价.- -.…价，，.“ 价一 一一一 一一一价 一 一一 ，6 6.6爬行量的测量 二 价.， “ 二价一 ~ ~ 一 一价 一~