02激光干涉测量技术上讲义.ppt

第二章 激光干涉测量技术 ;光波干涉条件;干涉数学表达式;光的相位与走过的光程有关：;§2.1 激光干涉测量长度和位移;以Michelson干涉仪为例:;二、干涉仪组成;（一）干涉仪光路系统;干涉仪的瞳和窗;干涉条纹的方向、形状、宽度、对比度、照度和干涉区域的深度仅取决于像空间的出瞳和出窗之间的相对位置。;共享优质文章 内容仅供学习;比累对切透镜干涉装置;菲涅耳双棱镜干涉装置;（2）分振幅法;光栅衍射分光;直角棱镜反射器;4.典型的光路布置;两半反半透镜一体化光路;（2）整体布局;1.移相器;常用移相器种类;（2）阶梯板和翼形板移相;（3）金属膜移相;（4）分偏振法移相;2.干涉条纹的计数及判向原理;三、干涉条纹对比度;四、激光干涉测长的应用;2.激光跟踪干涉仪;;共享优质文章 内容仅供学习;3.Renishaw新型单频激光干涉仪;;4. 激光小角度干涉仪;改进:为消除偏心和轴系晃动等误差，并提高灵敏度，在对称直径位置上布置两个角锥棱镜;傅立叶变换光谱仪;干涉仪产生的干涉条纹是光谱相干涉的结果，能否利用干涉条纹的信息去获得相干光谱的信息？也就是从分析干涉条纹得到参与干涉的光谱线的位置（波长）及其强度呢？;对于复色光谱：;傅立叶变换光谱仪的优点：能同时接收工作波段范围内的所有光谱，记录全部光谱时间与一般光谱仪器记录一个光谱分辨单位的时间相同，在不到1秒时间内完成全部光谱扫描。信噪