制程能力及管控重点测试方法培训[精品].pptxVIP

MAS制程能力及管控重点测试方法培训教材;内容;制程;制程;制程;制程;制程;二．测试方法;2、内层次外层防焊曝光能量均匀性测试方法 1) 将曝光机切换到手动模式Manual； 2) 选择“上灯”界面； 3) 点击“开/关SHUTTER”； 4) 选用能量测试仪盒内感应探头“ZG429(湿膜）ZG197(干膜) ”； 5) 将探头玻璃面朝上，将玻璃下压到合适高度，关闭门窗； 6) 点击能量测量仪上的“ZERO”校零； 7) 当测量仪界面由“ZEROING”变为“SIGNAL”后，点击“INFEGRATE”， 当界面上出现“HI INTEG”时转动曝光机上“START”开始测量，当 数值不再累加时记录数据； 8) 将探头再换一个位置重复5-7的动作； 9) 下灯测量方法同上灯(只是探头玻璃朝下，上玻璃不用下压)； 10) 上下灯各平均取25个点； ;;3、内层次外层外层防焊曝光机的对位精度测试方法 1）准备四片板厚0.1mmH/H的内层光板，钻短边的4颗对位孔； 2）前处理和压膜按照正常程序生产，不需做变动； 3）架对位精度测试底片； 4）对位OK后，放上钢条输入相应的板宽板厚； 5）打设备到自动状态； 6）将用测试底片做出的4片板子拿到二次元，取坐标原点如下图1 所示，量取实心圆的圆心与环的圆心之间的距离，每个测试区 域量4