锅炉界面全自动操作手册【Word版可编辑】35P2316.docVIP

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2020-08-24 发布于云南
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经典资料， WORD 文档，可编辑修改，欢迎下载交流。．经典资料， WORD 文档，可编辑修改，欢迎下载交流。经典资料， WORD 文档，可编辑修改，欢迎下载交流。目录介绍.............................. ........................... ...................... ........ ............................. .....3 炉体控制 .............................. .......................................... ........ ............................. .....4 晶体、坩埚提升运动控制界面 ..................................... ........ ............................. .....5 晶体、坩埚旋转运动控制界面 ..................................... ........ ............................. .....5 坩埚自动定位界面 ............. .......................................... ........ ............................. ..... 6 加热功率控制界面 ............. .......................................... ........ ............................. ..... 6 等径闭环界面 ..................... .......................................... ........ ............................. ..... 7 热场温度控制界面 ............. .......................................... ........ ............................. ..... 7 温度闭环参数设置界面 ..... .......................................... ........ ............................. ..... 8 热场温升控制界面 ............. .......................................... ........ ............................. ..... 8 液面温度控制界面 ............. .......................................... ........ ............................. ..... 8 生长控制界面 ..................... .......................................... ........ ............................. ..... 9 坩埚跟踪控制界面 ............. .......................................... ........ ............................. ..... 9 压力控制界面 ..................... .......................................... ........ ............................. ..... 10 自动工艺选择 ..................... .......................................... ........ ............................. ..... 10 氩气、真空控制............. .......................................... ....... ..... ............................. ..... 11 曲线数据 .............................. ..........................................