SJT31260_A500B2K型高真空薄膜镀膜机完好要求和检查评定方法.pdfVIP

设备完好要求和检查评定方法 (下 册) 最新资料最新资料 专用设备 (续) 最新资料最新资料 中华人民共和.电子行业振准 A500B2K型高真空薄膜敏膜机完好要求 sd/r 31260-94 和检变评定方法 ， 主.内容与适用范围 本标准规定了A500B2K型高真空薄膜镀膜机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于A500B2K型高真空薄膜镀膜机。 2 完好要求 2.1 主要性能 2 1.1镀膜性能 a. 膜卷宽度范围:250^-520 mm; b.镀层最大宽度:500 mm; c.卷膜速度范围:。.8^-8 m/s; d， 一个计算面积单位镀膜范围:1-5d1, 最新资料最新资料 2.1.2真空源 a.极限压力:不低于5 X 10-Pa ;