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SJT11181_净化涂胶台通用规范.PDFVIP

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SJT11181_净化涂胶台通用规范.PDF

    ICS 31.020 L 97 备案号:2084一1998 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 11181一1998 净化涂胶台通用规范 General specification for resist一coating stage with purified room 最新资料最新资料 1998-03-11发布 1998-05-01实施 中华人民共和国电子工业部 发布 前 言 本标准是根据国内净化涂胶台的技术条件，参照国外同类设备技术资料进行编制的。 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准起草

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