毫米波GaN基HEMT器件研究.pdfVIP

目 录 目 录 1 第一章 绪论1 第一章 绪论 1.1GaN HEMT 1 1.1GaN HEMT 1 基 器件的研究背景 基 器件的研究背景 1.2 2 1.2 国内外相关研究状况及存在问题2 国内外相关研究状况及存在问题 1.2.1 2 1.2.1 国内外的研究状况2 国内外的研究状况 1.2.2 6 1.2.2 目前存在的问题6 目前存在的问题 1.2.2.1 6 1.2.2.1短沟道效应6 短沟道效应 1.2.2.2 7 1.2.2.2 工艺问题7 工艺问题 1.2.2.3 GaN HEMT 8