电子技术查新训练文献综述报告.pdfVIP

学 海 无 涯 电子技术查新训练 文献综述报告 题 目 大规模集成电路的发展及趋势 学 号 班 级 学 生 指导教师 20 12 年 1 学 海 无 涯 大规模集成电路的发展及趋势 摘 要：随着集成电路技术的发展，越来越多的科学家将注意力转向了集成电路。对集 成电路的性能提出了更高的要求，因此对制作集成电路工艺技术也不断在改进。本综 述介绍了大规模集成电路的发展趋势，通过分析各种工艺在大规模集成电路上的应用， 对大规模集成电路的发展趋势进行了展望。 关键词：集成电路，大规模集成电路，工艺技术，芯片。 Large Scale Integration Developments And Trends Abstract ：With the development of integrated circuit technology , more and more scientists pay attention to the integrated circuit. Higher performance was demanded for integrated circuit. So mainsteam process technologies for integrated circuit was described. Large scale integration developments and trends was introduced in this paper. By analyzing application for large scale integration in varieties technologies ,the development trend for large scale integration was predicted. Key Words ：integrated circuit ，large scale integration ，technology ，chip. 1 引言 随着半导体工业的迅速发展，特别是大规模集成电路在较短的时间内获得飞快发 展，对整个电子工业都起着推动作用。现在大部分的电子产品都需要集成电路，大规 模集成电路又是集成电路中的重要组成部分，在生活中你和它接触的机会太多了，计 算机、电视、手机、网站、取款机等数不胜数的电子产品，而这些只是大规模集成电 路应用的一小部分。除此之外在航空航天。医疗卫生、交通运输、武器装备等许多领 [1] 域都离不开大规模集成电路的应用 。 本文主要简述大规模集成电路技术的概况及其发展状况。 2 大规模集成电路工艺技术的概况 2.1 大规模集成电路工艺技术的发展 电子器件经历了电子管、晶体管、集成电路、大规模集成电路四代的发展历史。大 规模集成电路是在集成电路的基础上发展起来的，在集成电路发展初期都是集成度较 [2] 低的门电路，后来发展了多门电路和一些单个触发器，集成度逐步提高 。自从 1958 年美国的J.Kilby 做出了第一块集成电路之后，集成电路经历了小规模集成（SSI ）、中 规模集成（MSI ）、大规模集成（大规模集成电路）、超大规模集成（V 大规模集成电路）， 达到了今日的特大规模集成（U 大规模集成电路）。大规模集成电路就是指通常指含逻 辑门数为 100 门～9999 门（或含元件数1000 个～99999 个），在一个芯片上集合有 1000 [1] 个以上电子元件的集成电路，不仅集成面积大，而且集成密度也提高和功能复杂化 。 这就使得对大规模集成电路的工艺的要求是超细