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电气与电子测量技术
电容式传感器
Page . 2
基本原理
平板电容器的电容量 电容式传感器的种类
A
C ①变间隙型:固定A ,
d CCC
C与d 为非线性关系
② 变面积型:固定d,
+ A
+
C与A为线性关系
+
③ 变介电常数型:固定A ,d
d
C与 为线性关系
平板电容器
Page . 3
变气隙式电容传感器
设在被测量作用下,极板间隙d=d - Δd , 在 时,将左式展开成麦克劳林级数
0 d / d0 1
则电容变化量为:
d d d 2 d 3
C1 C0 [1 ( ) ( ) ...]
d 1 d d d d
C C C0 C0 [ ] 0 0 0 0
d d
0 1 同理,若极板间隙d=d - Δd ,可得:
d 0
0 d d d 2 d 3 非线性项非线性项
C2 C0 [1 ( ) ( ) ...]
d d d d
式中,C0 为间隙d=d 的初始电容量 0 0 0 0
0
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当C -C 和C +C 时,部分高次非线性项可相
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