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干涉测量基本原理：改变干涉仪中传输 光的光程而引起对光的相位调制，从而 表现为光强的调制。测量干涉条纹的变 化即可得到被测参量的信息。 干涉条纹是由于干涉场上光程差相同的 场点的轨迹形成。 可进行长度、角度、平面度、折射率、 气体或液体含量、光学元件面形、光学 系统像差、光学材料内部缺陷等几何量 和物理量的测量。 1 ） 激光干涉测长的基本原理 系统组成： (a) 激光光源 (b) 干涉系统 (c) 光电显微镜 (d) 干涉信号处理部分 位移 2 ? ? ? N L 2 ）激光干涉测长仪的光路设置 1. 激光器 2. 透镜 3. 小孔光阑 4. 透镜 5. 反射镜 6. 反射棱镜 7. 位 相板 8. 角锥反射棱镜 9 ．分束镜 10. 角锥反射棱镜 11. 透镜 12. 光阑 13. 光电探测器 14. 透镜 15. 光阑 16. 光电探测器 干涉光路的设置 3 ）干涉信号的方向判别与计数 误差原因：外界干扰因素的影响，使测 量镜在正向移动过程中产生一些偶然的 反向移动。单纯计数，测量结果是正反 移动的总和。 解决方法：判别计数。当测量镜正向移 动时所产生的脉冲为加脉冲；反之为减 脉冲 。 判向计数： 正向移动： 第六章 光外差探测系统 ? 光外差检测原理 ? 光外差检测特性 ? 影响光外差检测灵敏度的因素 ? 光外差检测系统举例 6.1 光外差探测原理 光波 f （ t