各式扫的描探针显微镜.pptVIP

掃描式探針顯微術(SPM) 组員:鄭燕 陳凱正 王韋蘋  目鉨 掃描探針顯微術(SPM)簡介 掃描穿遂顯微術(STM) 原子力顯微術(AFM) 横向力顯微術(LFM) 」磁力顯微術(MFM 参考資料  掃描探針顯微術(SPM)簡介 掃描探針顯微技術(SPM)具有原子級表面形狀解 析度’並可检測多種奈米級表面特性,如力學特 性丶磁性丶電性丶熱性丶光特性等’許多研究學 者已將掃描探針顥微技術廣為應用在奈米尺度至 微米尺度的表面量測。掃描探針顯微技術(SPM 主要優點包括儀器體積小丶樣品無須特殊處理 可在仼何環境下進行處理等優點;其主要缺點則 是掃描速度慢丶資重現率差及缺乏成份分析功 等  掃描穿遂顯微術(STM)  STM之簡介 STM全名為 Scanning Tunneling Microscopy,是 在金屬探針及導電樣品間加上小電壓’並 在SPM技術中具有最佳解析度,但由於無法在非 導體上操作,故目前主要應用於基礎性學術研究  STM之工作原理 掃描穿隧顒微儀之主要原理是利用金屬針尖在樣品 之表面上進行掃描根據量子穿隧效應產生穿隧電 由於產生之穿隧電流主要發生於針尖上最突出 的一顆原子上’因此STM具有原子級的橫向解析力 利用 作為測量訊號’即可獲得樣品表面之 圖像’因此探針與樣品必須能導電’同時樣品表面 必