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精密和超精密加工技术发展现状 摘要：精密和超精密加工技术的发展过程和现状， 以及对于精密和超 精密加工技术未来的展望。 关键词： 精密加工技术 ;超精密加工技术 ;非球面曲面超精密加工 一 引言 国际上在超精密加工技术方面处于领先地位的国家有美国、 德国 和日本发达国家中， 美国、日本、德国等在高技术领域 (如国防工业、 集成电路、信息技术产业等)之所以一直领先，与这些国家高度重视 和发展精密、 超精密制造技术有极其重要的关系。 由于加工技术水平 的发展，精密和超精密加工划分的界限逐渐向前推移， 但在具体数值 上没有确切的定义。被加工零件的尺寸精度在1.0?0.1 ^m,表面粗糙 度Ra在0.