影响离子渗氮工艺的参数.pdfVIP

离子渗氮的工艺参数较多，除了常见的渗氮温度和时间外， 还与炉气压力、气源、气体压力及流量、电压与电流、抽气速率 等因素有关。 01 、渗氮温度和时间 1)离子渗氮的渗氮温度和气体渗氮基本相同，一般为 500~540 ℃，不同材料渗氮硬度与温度之间均有一最佳对应值， 一般在 450~540 ℃之间。当温度高于 590 ℃时，会因氮化物的 积聚而使硬度明显下降。 升温速度主要取决于工件表面的电流密度、工件体积与产生 辉光的表面积之比以及工件的复杂程度与散热条件等。 为减少变 形，升温速度不宜过快，一般为 150~250 ℃/h 。保温温度要稳 定，波动要小。保温温度的稳定性与炉压及电压有密切的关系， 通过稳定炉压来稳定电流密度， 进而提高保温温度的稳定性； 通 过稳定电压来稳定电流密度，进而提高保温温度的稳定性。 2)渗氮的保温时间取决于渗氮件的材料以及渗氮层的厚度和 硬度要求， 保温时间从几十分钟到几十小时。