《冶金工程实验技术》11X射线光电子能谱仪简介.ppt

11 X射线光电子能谱仪简介 主要内容 XPS基本原理 XPS仪器构造 XPS冶金学科的应用 XPS基本原理 XPS是什么 X-ray Photoelectron Spectroscopy（X射线光电子能谱，简称XPS）是利用波长在X射线范围的高能光子照射被测样品，测量由此引起的光电子能量分布的一种谱学方法 。 样品在X射线作用下，各种轨道电子都有可能从原子中激发成为光电子，由于各种原子、分子的轨道电子的结合能是一定的，因此可用来测定表面化学元素组成、含量及形态。样品表面受辐射损伤小，能检测周期表中除H、He以外的所有元素。 XPS基本原理 一定能量(hυ)的X光照射到样品表面，和待测物质发生作用，可以使待测物质原子中的电子脱离原子成为自由电子(光电子)。 光电 效应 1s 2s 2p E fermi level 光电子 Binding Energy结合能 EB Kinetic Energy 动能 EK hυ =EB +EK A + h υ ?→ A+* + e? hυ EB 能量守恒 X-ray hυ XPS基本原理 这些光电子进入能量分析器，利用能量分析器的色散作用，可获得按能量大小分布的X射线光电子谱，如图所示。 右图为金属铝的XPS谱图（激发源为单色AlKα） （a）扫描全谱； （b）为（a）高能端的扩展。 XPS基本原理 样品处理简单，无