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6.其他类型激光器6.1 CO2激光器6.2 He-Ne激光器6.3 Ar离子激光器6.4 准分子激光器6.5 染料激光器6.6 自由电子激光器6.7 半导体激光器6.1 CO2激光器属于气体激光器，分子激光器波长 9－11um，最常见10.6um效率高光束质量好功率范围大（几瓦～几万瓦）运行方式多样结构多样CO2激光器工作原理CO2激光器的激发机理上能级的激发下能级的激发弛豫过程辅助气体N2 CO He Xe H2 H2OCO2激光器类型封离型纵向激励CO2激光器高功率轴快流CO2激光器高功率横流CO2激光器横向激励高气压CO2激光器（TEA）波导CO2激光器CO2激光器运行方式6.2 He-Ne激光器气体原子激光器输出谱线：632.8nm，1.15um，3.39um，以632.8nm为最常见。功率在mW级，最大1W光束质量好，发散角可小于1mrad单色性好，带宽可小于20Hz稳定性高He-Ne激光器工作原理能级图He-Ne激光器工作特性谱线竞争（3.39um谱线的抑制）输出功率的稳定性稳频输出6.3 Ar离子激光器气体离子激光器主要波长488nm，514.5nm常见功率几十瓦，最高500W能量转换效率低Ar离子激光器工作原理激光机理弧光放电Ar离子激光器工作特性等离子参数抽运效应阈值电流强度磁场对输出效率的影响输出谱线6.4 准分子激光器准分子指在激发态能够暂时结合成的不稳定分子（Excimer）高重复率可调谐量子效率高波长短，紫外到可见区主要的准分子激光器准分子激光器准分子是一种在激发态结合为分子，在基态离解为原子的不稳定缔合物。跃迁发生在束缚的激发态和排斥的基态之间。准分子跃迁到基态以后立即解离。意味着只要激发态存在分子，就处于粒子数反转状态。由于下能级不是确定的能级，跃迁是宽带的，所以准分子激光器常常可以调谐运转。准分子可由异类或者同类原子构成。常见准分子激光器如：KrF, 249nm；XeCl, 308nm；ArF, 193nm。准分子激光器普遍采用电子束或者快速放电泵浦。准分子激光器中常加入He, Ne等惰性气体，其作用是降低电子温度，以便产生更多的激发态粒子，避免产生过多离子。与缓冲气体的碰撞还可以使高振动能级的准分子向低振动能级弛豫。准分子激光器脉冲能量可以达到几百mJ，平均输出功率可以超过100W。铜蒸气激光器需要加热至高温来产生足够的铜蒸气。输出波长为510nm和578nm。工作频率可以达到10kHz。平均功率超过10W。如果将铜换为金，则可以得到628nm的输出。准分子激光器工作原理跃迁过程泵浦要求电子束泵浦机理脉冲放电泵浦机理6.5 染料激光器以某种有机染料溶解于一定溶剂中作为激活介质的激光器波长可调谐，调谐范围宽光谱分辨率高结构简单价格便宜稳定性差染料激光器 染料激光器采用溶于适当溶剂中的有机染料作激光工作物质。 适用作激光工作物质的染料是包含共辄双键的有机化合物。染料激光器的工作原理染料激光器的工作方式脉冲染料激光器闪光泵浦激光器泵浦连续染料激光器波长调谐光栅棱镜F－P双折射滤光片设计染料激光器应考虑的几个问题染料的选择光谱特性，转换效率，化学稳定性，浓度，寿命溶剂的选择染料盒的结构泵浦源图1 若丹明6G结构式图 2 染料分子能级图染料激光器有很宽的调谐范围。 通常采用闪光灯、N2分子激光器、准分子激光器或倍频Nd3+:YAG激光器发射的532nm激光等作脉冲染料激光器的泵浦光源,而连续染料激光器则常用氩或氪离子激光器作泵浦源。显然,泵浦光的波长必须小于染料激光器的输出激光波长。可以采用光栅、棱镜、标准具及双折射滤光片等波长选择元件对染料激光器进行波长调谐。 由于染料具有较宽的频带,所以可从锁模染料激光器得到很窄的脉冲,以若丹明6G为工作物质的碰撞锁模染料激光器可产生约30fs的超短激光脉冲,这种光脉冲还可压缩成脉宽仅为6fs的超短光脉冲,这是目前世界上最窄的光脉冲。 在掺钛蓝宝石出现之前,染料激光器是最理想的可调谐激光器。目前已在紫外(330mn)到近红外(1.85um)相当宽的范围内获得了连续可调谐输出。由于它的可调谐和可产生极窄光脉冲的特点,在激光光谱、同位素分离、医学及其他科技领域获得了广泛应用。图3单纵模环行染料激光器光路图6.6 自由电子激光器真空中自由电子通过与泵浦场（周期磁场或电磁场）相互作用产生激光。高功率（MW）高效率（理论上50％）宽波长调谐范围（原则上从微波到X射线）自由电子激光组成及类型组成高能电子加速器摆动器光学谐振腔类型磁韧致辐射自由电子激光器康普顿型自由电子激光器拉曼型自由电子激光器切伦科夫辐射自由电子激光器6.7半导体激光器 以半导体材料为工作物质的激光器称为半导体激光器。其特点为超小型、高效率、低成本、工作速度快和波长范围宽等。它是激光光纤通信的重要光源。目