传感器与检测技术 磁敏传感器 6-4 半导体磁阻传感器.pptx

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第6章 磁敏传感器;6.4 半导体磁阻传感器 6.4.1 磁阻效应;6.4.2 磁敏电阻元件; 2. 科宾诺元件(最大磁阻效应的磁阻) 如图6.15所示,在盘形片的外圆周边制作一个环形电极,中心处制作一个圆形电极,两个电极间就构成一个科宾诺元件(磁阻元件)。无磁场时,载流子的运动路径是沿径向的;有磁场时,两极间电流会发生弯曲使电阻变大。其磁阻效应关系式为 3. 高灵敏栅格型磁敏电阻 为了提高磁阻效应,在长方形磁敏电阻的长度方向上垂直沉积n根金属短路条,将它们分割成n+1个电阻子元件。短路条长度为b、短路条宽度l, 且l/b1 。设子元件有、无磁场时的电阻分别为RB、R0,器件的总零磁场电阻R0n和有磁场电阻RBn表示为 ;6.4.3 磁敏电阻的温度补偿

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