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用于义齿的电容式压力传感器研究 摘要：本文介绍了一种以MEM技术为基础的基于义齿压力检测的 MEM电容式压力传感器的研制，它是以电容式压力传感器的原理为基 础，采用MEM技术设计了用于义齿的电容式压力传感器，这是针对临 床医疗中新型MEM压力传感器。 关键词：MEMS压力传感器；义齿； 一、引言 近年来，随着MEM技术研究的进一步发展和深入，MEM器件在生 物医学领的应用和研究越来越得到各国研究人员的重视。 MEMS^件在 生物医学领域中的次应用是 70 年代，在血压计中采用硅 / 石英微机械 加工的压力传感器，在没有使 MEM压力传感器前，血压计的价格约为 600美元，由于MEMSE力传感器