激光标刻工艺实践 激光标刻机光路传输系统的组成 015激光标刻机光路传输系统的组成.pptVIP

光机电应用技术国家教学资源库 激光标刻机光路传输系统的组成 课程：激光标刻工艺实践 主讲教师：张 伟 教学目标： 掌握激光标刻机光路传输系统的组成及各部分作用。 教学内容： 1、激光标刻机光路传输系统的组成； 2、准直扩束系统的作用和结构； 3、振镜扫描系统的作用和结构； 4、场镜聚焦系统的结构和作用。 激光标刻机光路传输系统的组成 激光标刻机光路传输系统的组成 1、激光标刻机光路传输系统的组成 激光标刻机光路传输系统主要由准直扩束系统、振镜扫描系统和场镜聚焦系统组成。 2、准直扩束系统的结构和作用 （1）准直扩束系统的作用——压缩光束的发散角 、增大光束的直径 激光标刻机光路传输系统的组成 2、准直扩束系统的结构和作用 （2）准直扩束系统的结构——倒置的伽利略望远系统 激光标刻机光路传输系统的组成 2、准直扩束系统的结构和作用 （3）扩束镜的主要参数——扩束倍数、可改善激光束的准直度数、适用功率 激光标刻机光路传输系统的组成 3、振镜扫描系统的结构和作用 （1）振镜扫描系统的作用 将激光束入射到两反射镜（扫描镜）上，用计算机控制反射镜的反射角度，两个反射镜分别沿X、Y轴扫描，从而实现控制激光束的偏转。 激光标刻机光路传输系统的组成 3、振镜扫描系统的结构和作用 （2）振镜扫描系统的结构 光学扫描器、伺服电动机、电子扭力棒、精密轴承机构、位置检测传感器等。 激光标刻机光路传输系统的组成 4、场镜聚焦系统的结构和作用 （1）场镜聚焦系统的作用 激光束经过振镜扫描，若用普通透镜聚焦，则扫描的焦平面将是一个扇形面，与待加工的平面不重合。只有加平场透镜加以矫正，才能在整个扫描范围内，使聚焦光斑均匀，直径不变，在焦平面内光斑进行扫描时有足够大的视场。平场透镜即F-θ聚焦透镜，简称场镜。 激光标刻机光路传输系统的组成 4、场镜聚焦系统的结构和作用 （2）场镜聚焦系统的结构 F-θ聚焦镜有单镜片、双镜片和三镜片三种结构。 激光标刻机光路传输系统的组成 小结 1、激光标刻机光路传输系统主要由准直扩束系统、振镜扫描系统和场镜聚焦系统组成； 2、准直扩束系统的主要作用是压缩光束的发散角和增大光束的直径。 激光标刻机光路传输系统的组成 作业 1、激光标刻机光路传输系统主要由哪几部分组成？ 2、激光标刻机准直扩束镜系统的作用是什么？ 3、激光标刻机振镜系统的作用是什么？ 激光标刻机光路传输系统的组成 光机电应用技术国家教学资源库