利用激光进行玻璃切割的研究.pdfVIP

利用激光进行玻璃切割的研究 一 引言 玻璃作为一种脆性材料，质地均匀、透明度好、表面光滑、耐腐 蚀，因此在科学研究与工农业生产中得到了广泛的应用。尤其是近年 来，随着IT产业的迅速发展，液晶显示器和等离子体显示器等高科技电 子产品应运而生，对玻璃制品切割质量的要求越来越高。玻璃的应用已 经非常广泛，而切割玻璃又是其中比较关键的技术，由于激光激光束具 有高亮度、高方向性、高单色性和高相干性，利用激光来切割玻璃相对 传统方法具有无可比拟的优势，因此，激光在玻璃切割中将会扮演非常 重要的角色。 二 激光切割玻璃的主要原理 激光切割玻璃的方法从原理上可以分为两种：一种是熔融 （蒸发） 切割法，另一种是裂纹控制法。 熔融切割法就是利用玻璃处在软化的温度下具有较好的塑性和延展 性，用聚焦的 CO激光或者紫外激光照射到软化的玻璃表面，激光具有 的较高的能量密度会导致玻璃融化，然后用气流吹走熔融的玻璃，产生 沟槽，从而实现玻璃的熔融切割，如图2-1所示。 图 2-1 熔融切割法的切割原理图 裂纹控制法切割玻璃是玻璃工业上的一种常用的激光切割方法，这 种方法进行玻璃切割的原理如图2-2。第一步，对玻璃表面进行激光加 热，较高的能量会使该处的温度急剧升高，表面产生较大的压应力，但 该压应力不会使玻璃产生破裂; 第二步，对该区域进行急剧的冷却，一 般采用冷却气体或者冷却液，急剧的降温会使玻璃表面产生较大的温度 梯度和较大的拉应力，这个拉应力会使玻璃表面沿着预定划线的方向开 始破裂，实现玻璃的切割。 图 2-2 裂纹控制法的切割原理图 三 激光切割玻璃的国内外发展情况 由于激光激光束具有高亮度、高方向性、高单色性和高相干性，激 光在其产生之日起就被各行业给予较大期望，用于切割的激光方面的研 究也比较早，激光切割玻璃的工艺经历了熔融法、裂纹控制法的研究发 展，经历了单光束到多光束的发展，下面简单介绍一下。 熔融切割法提出比较早，上世纪60年代Hafner采用几个固定的激光 束以一定的角度入射到预热玻璃上，熔化玻璃，然后用辅助气流嘴吹走 粘在热玻璃上的熔融玻璃从而产生斜切口，但切口比较粗糙。 Chul在他的专利中主张用聚集激光束并把玻璃预热到540-680℃范 围内的办法来切割板材玻璃，并详细介绍了熔融玻璃条的切割情况，他 发现，用CO激光器切割处于这个温度范围内的玻璃可以避免裂纹的产 生，这种方案对功率的要求比较高，若要提高切割速度，应该增大激光 器的功率，但是要切厚玻璃，功率就得按厚度的平方增加。 后来Finaueane和Blaek用一台600w的CO激光器和一台MF400CNC激光 器切割机对彩色玻璃进行了切割，研究了激光参数对切割质量的影响。 据发现，250W的脉冲激光器可以提供最佳的综合结果，切割速度可达 6mm/s。 在 19 世纪 70 年代，Lumley等人率先提出了应用激光诱导张应力 控制裂纹扩展技术分离脆性材料的思想。他们利用 CO激光作用区由于 快速加热和冷却而产生的张应力，成功地用 30W 激光器以 20mm/s 的 速度切割了一个厚度为 1mm 的显微幻灯片。 1997 年，Kondrateko等人通过在激光照射后对材料表面喷射冷水 加以急速冷却，以达到加快裂纹扩展速度、改善切割质量的目的，进一 步改进了切割工艺。 2007 年，台湾的 Yen-Liang Kuo 和 Jehnming Lin使用了一个由 CO线形激光和 Nd-YAG 脉冲激光构成的多束激光系统来切割钠钙玻璃 板。先用CO线形激光预热玻璃板然后用 Nd-YAG 脉冲激光加热在玻璃板 上产生混合应力状态。通过分析玻璃板被切割的应力分布并用有限元法 进行热弹性分析得出结果：裂纹区的应力场由复杂的应力状态所导致并 且裂缝的状态受脉冲激光的影响很大。通过使用脉冲激光照射玻璃板在 切割方向形成大的剪切应力可以得到好的切割质量。 在国内，也有一些大学和研究机构进行了裂纹控制法切割的研究， 2006 年，华中科技大学