扫描隧道显微镜和原子力显微镜[参考].pptVIP

（四）工业 Z方向微小高度差的表面结构，如光滑轴承表面抛光。 集成电路、表面微细加工。 STM可以在纳米尺度上对材料表面进行加工处理。近几年已经能够加工出各种用于构筑纳米器件的细线结构，如在有机导电高分子材料中加工出线宽仅为3nm的极微导线。同时利用单原子操纵开展了加工各种原子尺度和纳米尺度的人工结构研究。 * 精品ppt·实用借鉴 光栅样品 * 精品ppt·实用借鉴 STM扫描图像处理 光栅三维图像 * 精品ppt·实用借鉴 1?m ? 1?m光栅表面形貌的三维立体图 * 精品ppt·实用借鉴 1?m ? 1?m光栅表面形貌的三维立体图 * 精品ppt·实用借鉴 微观操作 STM在场发射模式时，针尖与样品仍相当接近，此时用不很高的外加电压（最低可到10V左右）就可产生足够高的电场，电子在其作用下将穿越针尖的势垒向空间发射。这些电子具有一定的束流和能量，由于它们在空间运动的距离极小，至样品处来不及发散，故束径很小，一般为毫微米量级，所以可能在毫微米尺度上引起化学键断裂，发生化学反应。 * 精品ppt·实用借鉴 移动，刻写样品 当STM在恒流状态下工作时，突然缩短针尖与样品的间距或在针尖与样品的偏置电压上加一脉冲，针尖下样品表面微区中将会出现毫微米级的坑、丘等结构上的变化。针尖进行刻写操作后一般并未损坏，仍可用它对表面原子进行成像，以实时检验刻写结果的好坏 。 * 精品ppt·实用借鉴 * 精品ppt·实用借鉴 探伤及修补 STM在对表面进行加工处理的过程中可实时对表面形貌进行成像，用来发现表面各种结构上的缺陷和损伤，并用表面淀积和刻蚀等方法建立或切断连线，以消除缺陷，达到修补的目的，然后还可用STM进行成像以检查修补结果的好坏 。 * 精品ppt·实用借鉴 七、扫描隧道谱 在表面给定点，d值固定，改变偏压V，测量I，获得I-V或dI/dV-V曲线——扫描隧道谱STS。 STS可获得表面原子的电子结构（电子态）信息，用来研究化学组成，成健状态、能隙、能带弯曲效应和表面吸附等方面的细节。 STS是通过测定样品表面费米能级处的电子态密度随偏压的变化来研究样品的电子结构。 隧道电流信号中包含的信息代表了隧道电极（样品、针尖）的电子结构（电子态密度）。 * 精品ppt·实用借鉴 例如：一个平面金属表面上吸附三个原子：Na、S、He，针尖作恒电流扫描，观察Z方向位移。 Na费米能级处电子态密度比S高，所以位移比S大； Na S He 图 针尖的位移 He是饱和结构，费米能级处电子态密度为0，这时得到的是基底电子态密度，针尖向样品接近，以保持I恒定。 * 精品ppt·实用借鉴 八、影响图像质量的因素 影响仪器分辨率和图像质量的因素主要有以下几点： 对针尖的要求：具有高的弯曲共振频率 、针尖的尖端很尖(最好尖端只有一个原子)、针尖的化学纯度高； 压电陶瓷的精度要足够高； 减震系统的减震效果要好，可采用各种减震系统的综合使用； 电子学控制系统的采集和反馈速度和质量； 样品的导电性对图像也有一定的影响。 各种参数的选择要合适。 样品表面状态 * 精品ppt·实用借鉴 第二节 原子力显微镜（AFM） 扫描隧道显微镜工作时必须实时通过检测针尖和样品间隧道电流变化实现样品表面成像的，因此它只能用于观察导体或半导体材料的表面结构，不能实现对绝缘体表面形貌的观察。 * 精品ppt·实用借鉴 为了研究绝缘体样品的表面结构，1986年IBM的Binnig和Stanford大学的Quate在扫描隧道显微镜的基础上发明了原子力显微镜（AFM）, 弥补了STM的不足。 AFM不但可测样品的表面形貌，达到接近原子分辨率，还可测量表面原子间的力，测量表面的弹性，塑性，硬度，店着力，摩擦力等性质。 AFM分辨率：横向0.15nm，纵向0.05nm。 STM 分辨率：横向0.1nm，纵向0.01nm * 精品ppt·实用借鉴 * 精品ppt·实用借鉴 一、 原子力显微镜的工作原理 原子力显微镜是一种类似于扫描隧道显微镜的显微技术，它的仪器构成（机械结构和控制系统）在很大程度上与扫描隧道显微镜相同。如用三维压电扫描器，反馈控制器等。 它们的主要不同点是扫描隧道显微镜检测的是针尖和样品间的隧道电流，而原子力显微镜检测的是针尖和样品间的力。 * 精品ppt·实用借鉴 图 AFM的工作原理 * 精品ppt·实用借鉴 原子与原子之间的交互作用力因为彼此