6_俄歇电子能谱_680304978.pptVIP

下周实验安排 11 月 27 日 AES 实验。 （ ） 时间地点，咨询助教。 内容回顾 X －光反射：薄膜的厚度、密度、粗糙度等信息 红外和喇曼光谱：分子振动光谱，分子结构信息。 XPS ：材料的化学结构、成分等 LEED ：材料的表面（晶体）结构、吸附等特性 RHEED ：材料的表面（晶体）结构、形貌等 AES ＋ EDS ：材料的化学结构、成分等 RBS ：（厚）薄膜材料的密度、厚度、成分等 C-RBS: 原子的添隙位置，晶体性的好坏等 SIMS ： 材料的成分等 本节内容 俄歇电子能谱： Auger Electron Spectroscopy ，简称为 AES 。 根据俄歇电子的能量确定：表面存在的元素种类 根据俄歇电子的数量确定：元素在表面的含量。 电子束（可以聚焦得很细）在表面扫描，得到元素在表面上的分布； 利用离子束溅射，可以得到元素沿着深度的分布； 不同化学环境下的元素 AES 谱不同，可以得到化学结构信息。 俄歇电子能谱进行表面分析只有几十年的历史，但是发展迅速。 三种重要表面分析