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3.4 压电式测力传感器 压电元件是直接把力转换为电荷的传感器。 ? 变形方式 ：利用纵向压电效应的 TE 方式最简便。 ? 材料选择 ：决定于所测力的量值大小，对测量误差提 出的要求、工作环境温度等各种因素。 ? 晶片数目 ：通常是使用机械串联而电气并联的两片。 晶片电气并联两片，可以使传感器的电荷 输出灵敏度增大一倍。 上一页 下一页 返 回 单向压电式测力传感器 ? 用于机床动态切削力的测量。 上一页 下一页 返 回 压电式压力传感器 ? 测量均布压力的传 感器 ? 拉紧的薄壁管对晶片 提供预载力而感受外 部压力的是由挠性材 料做成的很薄的膜片。 预载筒外的空腔可以 连接冷却系统，以保 证传感器工作在一定 的环境温度条件下， 避免因温度变化造成 预载力变化引起的测 量误差。 上一页 返 回 例题 1 ? 有一压电晶体，其面积 S ＝ 3cm*cm, 厚度 t ＝ 0.3mm, 在 x 切 型纵向石英晶体压电系数 。 求受到压力 p ＝ 10MPa 作用时产生的电荷 q 及输出电压 注：其中真空介电常数 : 石英相对介电常数为： 12 11 2.31 10 / d C N ? ? ? 0 U 12 0 8.85 10 / F m ? ? ? ? 4.5 r ? ? ? 解 ： 受力作用后，石英晶体产生的电荷量为： 带入数据得： 晶体的电容量为： 得 输出电压 11 11 q d F d p S ? ? ? ? ? 9 6.93 10 q C ? ? ? 0 r s C t ? ? ? 11 3.98 10 C F ? ? ? 9 11 6.93*10 174 3.98*10 q U V C ? ? ? ? ? 例题 2 ? 压电式加速度传感器的结构如图所示，假设重块组件的质 量为 m ，压电元件的压电系数为 d ，传感器壳体内的等效阻 尼系数为 c 。 要求： （ 1 ）分别给出输出电荷 q 及输出电压 U 与加速度 a 之间的关系； （ 2 ）画出此加速度传感器的等效模型； （ 3 ）推导传感器的微分方程，并说明它是几阶环节的传感 器。 第二章 压电式和压磁式传感器 1 压电式传感器的工作原理 2 等效电路及信号变换电路 3 压电式加速度传感器 4 压电式测力传感器 5 压磁式传感器 下一页 返 回 1 压电式传感器的工作原理 ? 电势型传感器 以压电效应为基础 压电效应可逆 “双向传感器” ? 正压电效应 某些物质在沿一定方向受到压力或拉力作用而 发生改变时，其表面上会产生电荷；若将外力 去掉时，它们又重新回到不带电的状态，这种 现象就称为正压电效应。 ( 加力 变形 产生电 荷 ) 上一页 下一页 返 回 ? 逆压电效应 在压电材料的两个电极面上，如果加以交流电压， 那么压电片能产生机械振动，即压电片在电极方 向上有伸缩的现象，压电材料的这种现象称为 “电致伸缩效应”，也叫做“逆压电效应”。 ( 施加电场 电介质产生变形 应力 ) 常见的压电材料有 石英 、 钛酸钡 、 锆钛酸铅 等。 1. 石英晶体的压电效应 X 轴：电轴或 1 轴； Y 轴：机械轴或 2 轴； Z 轴：光轴或 3 轴。 “ 纵向压电效应”：沿电轴（ X 轴）方向的力作用下产生电荷 “横向压电效应”：沿机械轴（ Y 轴）方向的力作用下产生电荷 在光轴（ Z 轴）方向时则不产生压电效应。 上一页 下一页 返 回 晶体切片 ? 当沿电轴方向加作用力 F x 时，则在与电轴垂直的平面 上产生电荷 x x F d Q ? ? 11 d 11 —— 压电系数（ C/N ） y y x F b a d F b a d Q 11 12 ? ? ? 作用力是沿着机械轴方向 电荷仍在与 X 轴垂直的平面 上一页 下一页 返 回 11 12 d d ? ? 此时， 切片上电荷的符号与受力方向的关系 图（ a ）是在 X 轴方向受压力， 图（ b ）是在 X 轴方向受拉力， 图（ c ）是在 Y 轴方向受压力， 图（ d ）是在 Y 轴方向受拉力。 上一页 下一页 返 回 石英晶体的压电效应 （ a ）正负电荷是互相平衡的，所以外部没有带电现象。 （ b ）在 X 轴方向压缩，表面 A 上呈现负电荷、 B 表面呈现正电荷。 （ c ）沿 Y 轴方向压缩，在 A 和 B 表面上分别呈现正电荷和负电荷 上一页 下一页 返 回 石英晶体 一种天然晶体，压电系数 d 11 ＝ 2.31 × 10 － 12 C/N ； 莫氏硬度为 7 、熔点为 1750 ℃、膨胀系数仅为钢的 1/30 。 优点： 转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、 固有频率高、动态特性好、工作温度高达 550 ℃ （压电系数不随温度而改变）、工作湿度高达 100% 、稳定性好。 上一页 下