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晶圆厂机台二次配电系统简介 晶圆厂机台二次配电系统简介 (制作人:朱红军) 目录 晶圆厂机台图片欣赏 晶圆厂机台一般分区规划 三晶圆厂机台一般编号命名规则 四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置 五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性 六晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图 七晶圆厂机台二次配电一般规则 八晶圆厂机台二次配电所用之电盘位置规划 九晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项 十.晶圆厂对应机台送电操作流程 十一晶圆厂送电相关注意事项 十二晶圆厂机台电力系统日常维护保养 十三.问题与讨论 Nr ofIEl Do wot hgic ar s K亚翔系统集成科技(苏州)殷份有限公母  晶圆厂机台二次配电系统简介 晶圆厂机台图片欣赏 etch-蚀刻区(简称E) awyftdeutnt aenpwNisd property s-64 Do wor dupicate ar distraint 翔系统集成科技(苏州)殷份有限公司  晶圆厂机台二次配电系统简介 晶圆厂机台图片欣赏 2. cleancmp-水槽区(简称CC); 圆? 备注:CC是 clean and cmp,般会叫该部门为”水槽”其实,CC不只是水槽, 括 backside wetcmp.we是 日是也是主要 可N亚翔系统集成科技(苏州)股有限公司  晶圆厂机台二次配电系统简介 晶圆厂机台图片欣赏 3. diffusion-扩散区或者称炉管区(简称D; 统集成科技(苏州)股份有限公司  晶圆厂机台二次配电系统简介 晶圆厂机台图片欣赏 4. thinfilm-溥膜区(简称T); awyftdeutnt aenpwNisd property s-64 Do wor dupicate ar distraint 统集成科技(苏州)股份有限公司  晶圆厂机台二次配电系统简介 晶圆厂机台图片欣赏 5.其他实验、量测机台及自动存储仓库STK. K亚翔系统集成科技(苏州)殷份有限公母  晶圆厂机台二次配电系统简介 二·晶圆厂机台一般分区规划 1.说明:制程段机台共分6个区,分别为E→→CC一P→D一C8C→T Cc 黄 cc 水槽 见刻原区区到 水槽 下薄膜区 A K亚翔系统集成科技(苏州)殷份有限公母  晶圆厂机台二次配电系统简介 三.晶圆厂机台一般编号命名规则( TOOL ID) 3 5 E 2A 0 42 62 1.日的:用来辨识机台所处的区域及位置 2.规则:七位字母和数字编码(内容说明如下 1-表示机台所属部门(P: photo-黄光区,E:etch-蚀刻区,T: thinfilm-薄 膜区,D: diffusion-扩散区,C:CC洗净区) 2表示FAB区域(AorB) 3~4-表示工作Bay(01~16) 5-表示连接符(-) 6~7表示序列号(01~99) K亚翔系统集成科技(苏州)殷份有限公母  晶圆厂机台二次配电系统简介 三.晶圆厂机台编号命名规则( TOOL ID) 3.范例如下 1234567 EA0 2 21 Cayfideutnl ampa wished property ofIE/ Do wor duplicate ar dstralazr 统集成科技(苏州)股份有限公司  晶圆厂机台二次配电系统简介 三.晶圆厂机台编号命名规则( TOOL ID) 3.范例如下 FAB AEQ|D中的 Serial no 以每条BAY机台排列的逆时 针方向增加(From01-99) 虚 Fcz Nr ofIEl Do wot hgic ar s 统集成科技(苏州)股份有限公司