显微定位系统概要.pptVIP

第五章显微定位系统 5.1概述 显微定位系统的主要功能是瞄准定位。在精密测量中, 瞄准、定位精度是影响测量精度的主要因素,因此要想办 法提高仪器的定位精度。 定位精度是指基准元件上的基准线(如分划板上刻线 与被测物的边缘轮廓线的重合程度 用显微定位系统就可以避免人眼对准精度的晛制,提 高仪器的定位精度。 按作用原理分两类 光学定位法 尢电定位法 对双互反 线轮自 纹靡 法重色法 瞄瞄调  5.2显微定位系统的工作原理及组成 5.2.1显微定位系统的工作原理 照明系统 调焦机构 被测件 显微系统探测器 导轨系统制动、微动机构  522光学式显微定位系统的基本组成 1.照明系统:保证被测物照明均匀, 有足够的照度 2.承物工作台:保证被测件处于正 确、稳定的测量位置。 3.显微系统:有准确、足够的放大 率,成像清晰,且有一定的分辨能 力 应入式级常机 4.探测器:接收、处理信息。 5.调焦机构:保证被测件清晰成像 在分划面上。 6.导轨系统:保证被测件的运动平 稳、准确。 7.制动、微动机构:精确定位。  53光学式显微定位系统的总体考虑 5.3.1显微定位系统的特性 功能:对被测对象精确定位 其定位精度与仪器的总精度相匹配 特性 1.显微镜的总放大率不高(10x~100x) 2物镜放大率β不高,但对放大率的准确性要求高 3.物镜的数值孔径(Df)小 4.显微物镜具有较长的工作距和较大的视场 5多采用物方远心光路  532 1.系统放大倍率的确定 (2)放大率的分配 250 倍率分配时应考虑下列因素: 1)物镜倍率不宜过大 2)目镜的倍率可适当取大些  5.3.2系统的总体参数确定 2.物镜的数值孔径的选择 分辨率与数值孔径之关系MV=0612 NA 考虑物镜分辨率与人眼的分辨率相匹配,则 0.61△c250 NA 所以MA_0.612 △a·250 人眼的分辨率在60″~240″之间选取,元=0.5510m NA 220900  5.3.2系统的总体参数确定 3.视场的选择 根据系统的放大率和工件的形状决定。 物方视场增大会引起像质下降和结构增大,需采用更 复杂的物镜形式。 4.工作距离的考虑 根据被测对象确定 5.显微系统的像差要求及结构形式 显微系统对像差特别严格,除校正轴上点像差(球差 色差、及近轴点慧差)外还要注意轴外点像差和放大率误 差(主要是畸变)  5.3.2系统的总体参数确定 5.显微系统的像差要求及结构形式 用于测量、比较的显微物镜的特点是:倍数低,数值孔 径较小而视场较大,远心光路,工作距较长,像质要求较高。 工具显微镜中几种物镜形式如图: -GD舟}:,--61 显微目镜,光学性能和望远镜中的目镜是完全一样 照明系统要满足下面两个原则:一为光孔转接原则(照 明系统的出瞳应与物镜的入瞳重合),二为照明系统的拉 氏不变量不小于物镜拉氏不变量。 照明系统的形式,在精密测量中,多数应用临界照明 和柯勒照明。  53.3系统的景深与光阑位置 景深是指光学系统能同时清晰成像的物空间沿光轴方向 的深度范围。 显微系统的总景深为 M2=M…+M1+M=~2 6.25P 2NA27T·MAI 显微定位系统一般不考虑调节景深,景深为 2NA 7T. NA 景深产生调焦误差,从而产生定位误差。这种测量误 差与光阑位置有关