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6.2 半导体集成电路的可靠性设计
军用半导体集成电路的可靠性设计是在产品研制的全过程中,以预防为主 、加强
系统管理的思想为指导 ,从线路设计、版图设计、工艺设计、封装结构设计、评价试
验设计 、原材料选用 、软件设计等方面 ,采取各种有效措施 ,力争消除或控制半导体
集成电路在规定的条件下和规定时间内可能出现的各种失效模式 ,从而在性能 、费用 、
时间 (研制 、生产周期)因素综合平衡的基础上 ,实现半导体集成电路产品规定的可
靠性指标。
根据内建可靠性的指导思想 ,为保证产品的可靠性 ,应以预防为主 ,针对产品在
研制 、生产制造、成品出厂 、运输 、贮存与使用全过程中可能出现的各种失效模式及
其失效机理 ,采取有效措施加以消除控制 。因此 ,半导体集成电路的可靠性设计必须
把要控制的失效模式转化成明确的、定量化的指标。在综合平衡可靠性 、性能 、费用
和时间等因素的基础上 ,通过采取相应有效的可靠性设计技术使产品在全寿命周期内
达到规定的可靠性要求 。
6.2.1 概 述
1. 可靠性设计应遵循的基本原则
(1)必须将产品的可靠性要求转化成明确的、定量化的可靠性指标。
(2)必须将可靠性设计贯穿于产品设计的各个方面和全过程 。
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(3)从国情出发尽可能地采用当今国内外成熟的新技术 、新结构 、新工艺 。
(4)设计所选用的线路 、版图、封装结构 ,应在满足预定可靠性指标的情况下尽
量简化 ,避免复杂结构带来的可靠性问题 。
(5)可靠性设计实施过程必须与可靠性管理紧密结合 。
2. 可靠性设计的基本依据
(1)合同书 、研制任务书或技术协议书 。
(2)产品考核所遵从的技术标准 。
(3)产品在全寿命周期内将遇到的应力条件 (环境应力和工作应力)。
(4)产品的失效模式分布 ,其中主要的和关键的失效模式及其机理分析 。
(5)定量化的可靠性设计指标。
(6)生产 (研制)线的生产条件 、工艺能力、质量保证能力。
3. 设计前的准备工作
(1)将用户对产品的可靠性要求 ,在综合平衡可靠性 、性能 、费用和研制(生产)
周期等因素的基础上 ,转化为明确的、定量化的可靠性设计指标。
(2)对国内外相似的产品进行调研 ,了解其生产研制水平 、可靠性水平 (包括产
品的主要失效模式 、失效机理 、已采取的技术措施 、已达到的质量等级和失效率等)
以及该产品的技术发展方向。
(3) 对现有生产 (研制)线的生产水平 、工艺能力、质量保证能力进行调研 ,可
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通过通用和特定的评价电路 ,所遵从的认证标准或统计工艺控制 (SPC)技术 ,获得
在线的定量化数据 。
4. 可靠性设计程序
(1)分析 、确定可靠性设计指标 ,并对该指标的必要性和科学性等进行论证。
(2)制定可靠性设计方案 。设计方案应包括对国内外同类产品 (相似产品)的可
靠性分析 、可靠性目标与要求 、基础材料选择 、关键部件与关键技术分析 、应控制的
主要失效模式以及应采取的可靠性设计措施 、可靠性设计结果的预计和可靠性评价试
验设计等 。
(3)可靠性设计方案论证 (可与产品总体方案论证同时进行)。
(4)设计方案的实施与评估 ,主要包括线路 、版图、工艺 、封装结构 、评价电路
等的可靠性设计以及对设计结果的评估 。
(5)样品试制及可靠性评价试验 。
(6)样品制造阶段的可靠性设计评审。
(7)通过试验与失效分析来改进设计 ,并进行 “设计-试验-分析-改进”循环 ,
实现产品的可靠性增长 ,直到达到预期的可靠性指标。
(8)最终可靠性设计评审。
(9)设计定型 。设计定型时 ,不仅产品性能应满足合同要求 ,可靠性指标是否满
足合同要求也应作为设计定型的必要条件 。
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