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HJT设备（异质结）产业化技术分析：PECVD与PVD的可行性分析.docx

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    PAGE PAGE 10 目 录 一、HJT 设备产业化：量产稳定性与成本竞争力的有效平衡 6 二、PECVD：降本提效为系统工程，存在难度但潜力可期 8 （一）技术路线优势各异，降本提效“殊途同归” 8 1、静态镀膜运行稳定，动态路线产能优势突出 9 2、链式结构简单，团簇式自动化配套难度大 9 3、RF 镀膜均匀性好，VHF 高沉积速率提升产能 11 （二）聚焦薄膜质量+生产效率，设备厂商多角度挖潜 11 三、PVD：国产化降本空间相对有限，靶材优化将助力提效 17 （一）产能提升并非瓶颈，降本空间相对有限 17 （二）靶材优化有望带动转换效率

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