QSY，DSY透明石英玻璃仪器.docVIP

筑神-建筑下载: QSY，DSY 透明石英玻璃仪器 本标准主要用于半导体工业采用的透明石英玻璃仪器。其他冶金、化工、科学研 究等所用透明石英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行。 透明石英玻璃仪器有 QSY 透明石英玻璃仪器和 DSY 透明石英玻璃仪器两种。 技术要求 1．透明石英玻璃仪器的化学成分，热稳定性，抗结晶性和高温变色性，均不低 于同类管材的要求。 2．透明石英玻璃仪器在加工过程中，应尽量消除应力，必须保证在常温下逐步 升温至 1100℃，在炉内自然冷却后无炸裂。 3．两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级（见下表）。 色 斑 项 目 一 级 二级 加工过程中混入（毫米） 0.1￣0.3 0.3￣1.0 允许数量（个/100 厘米[2]） ≤2 ≤2 吊管接口应做到轴向平行径向 垂直加工表面凸凹不大于所用 1/2 管材壁厚 管材壁厚 管材壁厚 外 型 长度未注明非重要部位的自由 公差（毫米） ±3 ±3 锥度（比例） 1∶5、1∶10、1∶15 1∶5、1∶10、1∶15 磨 口 磨口与未加工亮面呈直径圆周， ±1 ±2 弯曲度（毫米） 磨口内亮面（毫米[2]） 不允许 8 允许数量（个/100 厘米[2]） 不允许 ≤1 配 塞口的高低公差（毫米） ±3 ±3 合 二通活塞对孔误差 ≤1/4 ≤1/3 多通活塞对孔误差 ≤1/2 ≤3/5 水 面积（毫米