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河南传感器项目立项申请 一、基本信息 （一）项目名称 河南传感器项目 MEMS传感器即微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems）在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过40多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。 过去几年中，MEMS传感器的销售额一直保持着稳步的增长。2017年，全球MEMS传感器和执行器总体市场规模为115亿美元，其中MEMS传感器为61亿美元，增长17.3%，预计2018年，全球MEMS传感器销售额将增长10%以上，达到68亿