电容式传感器..ppt

1 电容式传感器的基本原理 2 电容式传感器的测量电路 3 电容式传感器的应用 4 电容式传感器的特点及应用注意点 图1 电容式传感器工作原理图 电容式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感元件电容量的变化，再经过测量电路将电容量的变化转换成电信号输出。 电容式传感器实际上是一个可变参数的电容器。 （1）变面积式电容传感器 变面积式电容式传感器通常分为线位移型和角位移型两大类。 a.线位移变面积型 常用的线位移变面积型电容式传感器可分为平面线位移型和柱面线位移型两种结构。 图2 线位移型电容式传感器 对于柱状结构，在图（b）中，覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值为： 对于平板状结构，在图（a）中，两极板有效覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值为： 式中， ， 为初始电容值。 式中， ，为初始电容值。 b.角位移型 角位移型是变面积式电容传感器的派生形式，其派生形式种类较多，如下图所示。 （a）角位移型；（b）齿形极板型；（c）圆筒型；（d）扇型 图3 变面积式电容传感器的派生型 在图3（a）中，当动极板有一个角位移 时，它与定极板之间的有效覆盖面积就会发生变化，从而导致电容量的变化，电容值可表示为： 当电容式传感器的面积和介电常数固定不变，只改变极板间距离时，称为变间隙式电容传感器，其结构原理如图所示。图4中，活动极板与被测对象相连。 （2）变间隙式电容传感器 图4 变间隙式电容传感器 （3）变介电常数式电容传感器 当电容式传感器的电介质改变时，其介电常数变化，也会引起电容量发生变化。 变介电常数式电容传感器就是通过介质的改变来实现对被测量的检测，并通过传感器的电容量的变化反映出来。它通常可以分为柱式和平板式两种，如图5所示。 （a）柱式 （b）平板式 图5 变介电常数式电容传感器 变介电常数式电容传感器的两极板间若存在导电物质，还应该在极板表面涂上绝缘层，防止极板短路，如涂上聚四氟乙烯薄膜。 变介电常数式电容传感器除了可以测量液位和位移之外，还可以用于测量电介质的厚度、物位，并可以根据极板间介质的介电常数随温度、湿度、容量的变化而变化来测量温度、湿度、容量等参数。 (a)测介质厚度；(b)测量位移；(c)测量液位；(d)测温度、湿度 图6 常见变介电常数式电容传感器 电容式传感器输出电容量以及电容变化量都非常微小，这样微小的电容量目前还不能直接被显示仪表所显示，无法由记录仪进行记录，亦不便于传输。 借助测量电路检出微小的电容变化量，并转换成与其成正比的电压、电流或者频率信号，才能进行显示、记录和传输。 用于电容式传感器的测量电路很多，常见的电路有：普通交流电桥、变压器电桥、双T形电桥电路、紧耦合电感臂电桥、运算放大器式测量电路、调频电路、脉冲宽度调制电路等。 运算放大器式测量电路的原理图如图7所示。电容式传感器跨接在高增益运算放大器的输入端与输出端之间。 由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗很高，可认为是一个理想运算放大器。则输出电压 为： （1）运算放大器式测量电路 图 7 运放式测量电路原理图 （2）普通交流电桥电路 普通交流电桥测量电路如图8 所示， 为传感器电容， 为等效配接阻抗， 和 分别为固定电容和固定阻抗。 图8 普通交流电桥测量电路 传感器工作前，先将电桥初始状态调至平衡。当传感器工作时，电容 发生变化，电桥失去平衡，从而输出交流电压信号。 此信号先经过交流放大器将电压进行放大，再经过相敏检波器和低通滤波器检出直流电压、并滤掉交流分量，最后得到直流电压输出信号，它的幅值随着电容的变化而变化。 电桥的输出电压为： 电容式传感器接入变压器电桥测量电路如图所示，它可分为单臂接法和差动接法两种。 （a）单臂接法 （b）差动接法 （3）变压器电桥电路 图9 变压器电桥电路 图9 (a)所示为单臂接法的变压器桥式测量电路，高频电源经变压器接到电容桥的一个对角线上，电容 构成电桥的四个臂，其中 为电容传感器。 当传感器未工作时，交流电桥处于平衡状态，有： 此时，电桥输出电压 。 当 改变时， ，电桥有输出电压，从而可测得电容的变化值。 （a）单臂接法 （b）差动接法 变压器电桥测量电路一般采用差动接法，如图9(b)所示。 以差动形式接入相邻两个桥臂，另