《二氯二氢硅的物化性和危害及防范措施》.docxVIP

最新整理二氯二氢硅的物化性和危害及防范措施 别名?英文名 二氯硅烷；Dichlorosilane . 用途： 电子气、外延、化学气相淀积。 制法： (1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。 (2)在高温下，硅与 氢及氯化氢反应，再精僻提纯。 二、理化性质 分子量：101.xxx 熔点：-122.0 C、沸点(101.325kPa) : 8.2C、液体 密度(0C, 101.325kPa) : 1220kg/m、气体密度(25 C , 101.325kPa) : 4.168kg/m、 相对密度(气体，空气=1,25C, 101.325kPa) : 3.52 -、比容(21.1 C, 101.325kPa): 0.2391m/kg、气液容积比(15 C, 100kPa) 290L/L、临界温度：176.0 C、临 界压力：4676kPa、 临界密度：463kg/m3 、气化热(8.4 C , 101.325kPa) : 249.kJ/kg 、比热容(25 C ,气体)： Cp=611.27J/(kg - K)、蒸气压(-20C): 31.4kPa、(0 C): 81.1kPa 、（20 C）: 167.2kPa、粘度（气体，20 C, 101.325kPa） : 0.0163mPa? s 、表面张力(20 C): 11.9mN/m、空气中可燃范围(20 C , 101.32