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半导体材料与器件科学云讲堂的准静态超低频测试主讲人王瑞恒半导体领域测试专家准静态测试测试原理及应用范围硬件需求及测试方法饱和电压测试法斜坡电压测试法注意事项准静态测试测试原理及应用范围平衡电桥法电容通交流阻直流信号进行测试如左图其他测试方法利用电容电荷存储的功能这种测试方法就准静态测试准静态测试硬件需求及测试方法主机个个设计小电流测试软件准静态测试之饱和电压测试法准静态测试硬件需求及测试方法饱和电压测试法加恒定电流测量电压随着时间的变化施加电流测电压模式得到图准静态测试饱和电压测试法电容电荷存储
半导体材料与器件科学云讲堂
——MOSFET的准静态CV / 超低频CV测试
主讲人:王瑞恒——半导体领域测试专家
2020/8/28
1
准静态CV测试
• 测试原理及应用范围
• 硬件需求及测试方法
1.饱和电压测试法 2.斜坡电压测试法
• 注意事项
准静态CV测试
测试原理及应用范围
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